中古 ASYST LPI 2200 #9111915 を販売中

ASYST LPI 2200は最高の性能および柔軟性のために設計されている最先端のウエハハンドラです。モジュラー設計により、ほとんどの産業環境への容易なカスタマイズと適応が可能です。LPI 2200は、高度なプロセスおよび熱制御機能を提供し、正確かつ再現可能なウェーハの準備と処理を可能にします。2段階の設計により、最大10個のフラット/ローアングルステージで部品を取り扱い、最大4個のバックサイドハンドリングでマルチサイト操作を管理できます。ASYST LPI 2200には、脆弱なウェハを容易に処理するための高度なエンドオブアームツーリングも組み込まれています。LPI 2200の堅牢な設計により、最大300mmまでのウェーハサイズであらゆるサイズのウェーハに対応できます。このハンドラは、オートグリッパー交換を備えた高トルクのデュアルアクチュエータシステムを備えており、迅速なウェハの読み込みと転送を容易にします。オートグリッパーシステムはまた、ツールの交換に必要な時間と労力を削減します。ASYST LPI 2200は、8µmまでの動作精度と±1µmの再現性を備え、幅広い動作精度と再現性を誇っています。この制御システムは、高度なプロセス制御、監視、および通信機能を備えており、最適で再現性の高いウェーハ処理体験を保証します。LPI 2200は、さまざまな高度なウエハハンドリング機能にも対応しています。ウェーハは、流動性を最大限に高めるために、プロセス間で傾斜、浸漬、洗浄することができます。ハンドラーには、部品がプロセス中に安全かつ正確に処理されるようにするために、さまざまな統合センサーと検査システムが付属しています。さらに、ハンドラーには、ASYST LPI 2200および関連プロセスのパフォーマンスを最適化するための、さまざまな環境センサーと計測機器があります。LPI 2200は、安全リスクを低減し、リスクフリーなオペレーションを促進するために、最高の安全基準に認定されています。ASYST LPI 2200は、地上障害遮断器、過熱保護、自己診断監視などの多くの安全機能を提供します。また、このハンドラーは、大型部品用に最大10インチの広いダイツダイストロークを備えているため、ほとんどの産業用途に適しています。また、リピート部品登録のための正確な速度と精度を確保するための強力なサーボモータを備えています。LPI 2200は、複雑な産業用部品加工のための最大の性能、信頼性、柔軟性を提供します。