中古 ASYST LPI 2200 #9111911 を販売中

ASYST LPI 2200は、幅広い環境で動作するように設計された高性能ウエハハンドラです。モジュラー設計により、包括的でカスタマイズ可能な機器構成が可能です。LPI 2200は、低圧環境で200mmまでのさまざまなウェーハサイズに対応でき、正確なウェーハ制御と正確なアライメントが可能です。その精密な制御システム機能は、正確なアライメントのためのズームと回転制御と、正確な配置のための基板機能への特定のアライメントを提供します。ASYST LPI 2200は、複数のウェーハを特定の参照位置に同時に配置できる自動子育て機能を備えています。これは、ウェーハの正確なアライメントと位置決め精度を確保するのに役立ちます。また、ウェーハの安定性を制御し、ウェーハの破損を最小限に抑える特許取得済みのウェーハクランプユニットを採用しています。ウェーハクランプは高感度で、ウェーハの動きを正確に制御しながら、移動中のウェーハの正確で反復可能な動きを提供します。ハンドラーは異なったプロセス条件と一緒に働くように設計され、さまざまな適用のために適しています。Si、 GaAs、 Ge、 CdSなど幅広い素材での作業が可能です。また、ダイボンディング、バンプ作成、インターポーザアタッチメント、ワイヤボンディングなどの操作にも使用できます。LPI 2200にはスキャナとビジョンシステムが内蔵されており、信頼性の高い安全なプロセス監視を提供します。これにより、ウェーハアライメントの問題を迅速に検出し、ウェーハ破損のリスクを最小限に抑え、廃棄物を削減することができます。ASYST LPI 2200は、直感的なメニューと強力なデータ管理機能をユーザーに提供する最先端のHuman Machine Interface （HMI）も備えています。安全性と信頼性の観点から、LPI 2200には温度、圧力、および噴射レベルを監視するさまざまなセンサーが搭載されています。また、危険なガスを検出するための漏れセンサーも備えています。このハンドラーは、ANSI、 CE、 SGSなどの標準安全規格と互換性があります。全体として、ASYST LPI 2200は、ウェーハ処理において卓越した精度と信頼性を提供します。モジュラー設計と高度なウェーハ制御機能により、ウェーハを処理するための包括的で信頼性の高いプロセスを提供できます。同梱のHMIと多くの安全機能により、包括的で効率的で安全なウェーハ処理機を提供します。