中古 ASYST LPI 2200 #9111910 を販売中

ASYST LPI 2200は、半導体製造アプリケーションのパフォーマンスを向上させるために設計された高性能ウエハハンドラです。ウェーハ処理作業の効率を最大限に高めるとともに、プロセス中の壊れやすい部品への汚染や損傷を最小限に抑えることを目的としたツールです。多軸ロボットアームを使用し、ウェハの移動、取り扱い、配置を精度よく行うことができます。内蔵されたリニアモータドライブにより、ロボットアームの迅速かつ正確な位置決めが保証され、ウェハの配置と取り扱いを高速化できます。多軸アームは最大200mm/sの速度で6方向に動くことができます。また、モーション時にウェーハを確実に把握する真空装置を内蔵し、寸法検出システムを採用して正確なハンドリングを実現しています。さらに、ロボットにはリアルタイムオブジェクト検出ユニットが搭載されており、ウェーハ内のオブジェクトに関する有用な情報を読み込む前に検出することができます。このツールは、ウェーハの種類、サイズ、形状を識別し、その他の関連情報を提供することができます。LPI 2200は、最大8個のウェーハをカセットに、最大12個のウェーハをパネルに積み込むように設計されています。また、最大16個のウェーハのコリニアトランスポートをサポートし、ファブ内の他のマシンやシステムとの迅速な現場通信を可能にします。このアセットは高いレベルの柔軟性を提供し、Fab内のあらゆるロボット技術、プロセス、アプリケーションをサポートします。また、ロボットアームが正常に動作していることを確認するためのさまざまな監視設備が付属しています。これには、ユーザーの安全アラームを提供し、ロボットのあらゆる種類の故障を検出する高度なセンサーが含まれています。全体的に、ASYST LPI 2200は、優れた性能を提供し、壊れやすいコンポーネントへの汚染と損傷を軽減する信頼性の高い強力なウェハハンドラです。このモデルは堅牢な設計で、極端な温度、衝撃、振動に対応できます。また、統合されたリアルタイム物体検出装置と監視設備は、さまざまなアプリケーションで効果的に動作することを保証します。