中古 ASYST LPI 2200 #9016235 を販売中

ASYST LPI 2200は、フロントエンドおよびバックエンド半導体生産およびその他のマイクロエレクトロニクス関連の製造プロセスで使用するために設計された高性能の自動ウェハハンドラです。高精度、再現性、汎用性を追求した信頼性の高い自己完結型ウェハハンドラです。LPI 2200は、さまざまなオートメーション要件をサポートする制御機器の可能性を提供します。バーコード読み取りと真空ベースのウェーハグリップを可能にするロボットアームを搭載し、ウェーハローディングとアンロードステーションを手動で操作してウェーハを目的地まで運ぶことができます。ASYST LPI 2200は、速度と精度パラメータを制御するために、Windowsベースのソフトウェアを介してプログラムされています。LPI 2200は、ウェーハの位置決めとトラッピングに安定したプラットフォームを提供する固定ベースプレートを備えています。真空カップは、正確なウェーハグリップと高速ウェーハツーダイ（WTD）アライメントを提供します。ウェーハグリッピングシステムは、さまざまなサイズのウェーハに対応する調整可能な設計を備えています。ASYST LPI 2200には、高速、再現性、ロープロファイル動作が可能な2軸サーボユニットが装備されています。このマシンは、ウェーハを正確な位置に自動的に配置してポイントするように設計されています。ウェーハの積み下ろしステーションは、高スループット性能のために正確かつ迅速にサイクルするようにプログラムすることができます。このツールには、固定ベースプレート上のウェーハの位置を監視するオンボードビジョンアセットが装備されています。これにより、オペレータは作業するhasの向きを監視できます。また、アライメントにかかる時間を短縮するのにも役立ちます。高性能を保証するために、LPI 2200は滑らかで、低雑音、高精度の軸受けシステムおよび部品と設計されています。また、ステータス、在庫、アクティブなジョブの詳細なレポートを提供するユーザーインターフェイスも備えています。最後に、ASYST LPI 2200には、ウェハの動きと送信信号を格納するリアルタイムデータロギングモデルが搭載されています。LPI 2200自動ウェハハンドラは、半導体およびマイクロエレクトロニクス製造におけるウェハ輸送、WTDアライメントおよび配置およびロボットウェハハンドリングアプリケーションに適しています。これは、高いスループットと信頼性の高いパフォーマンスを可能にする信頼性の高い、効率的で精密なロボットアーム、正確な移動装置と追加機能を装備しています。