中古 ASYST / LAM RESEARCH 4620 / 1150 #9182138 を販売中

ASYST/LAM RESEARCH 4620/1150ウェーハハンドラーは、ウェーハファブリケーションにおけるマテリアルハンドリングとプロセスオートメーション用に設計されたロボット機器です。これは、140°Cまでの高温で動作するように設計された「キューブオンホイール」プラットフォームです。また「、クリーンルーム等級」システムに分類され、クラス1,000のクリーンルーム環境で動作するように設計されています。ウェハハンドラは、オーバーヘッドCAEユニットに接続され、垂直リフトを備えているため、プロセス中の搬送および操作のためにウェハーを正確に配置して拾うことができます。ハンドラーは、ウェーハを操作できるロボットアームと、ウェーハを出し入れするためのコンベアベルトで構成されています。また、ウエハハンドラにはリフトチルトトランスファー（LTT）機構が搭載されており、オーバーヘッドCAEからロボットアーム、ロボットアームからコンベアベルト、その逆にウェハーを転送することができます。LTTメカニズムは高精度のロボット制御装置によって制御され、ウェーハの正確な位置決めが可能です。さらに、ASYST 4620/1150 Wafer Handlerには、ウェーハの位置を検出するための高度なレーザベースのウェーハ追跡ツールと、ロードポートモジュール、ウェーハカセットシステム、炉システムなどの他のプロセス機器との統合機能が搭載されています。また、ファクトリーオートメーションアセットと連携してウェーハ製造プロセス全体を監視および制御することもできます。全体として、LAM RESEARCH 4620/1150 Wafer Handlerは、クリーンルーム環境で複数のウェーハ処理を実行できる効率的で高度なロボットモデルです。ウェーハの正確かつ再現可能な位置決めを提供し、他のウェーハ製造装置やシステムとの統合に適しています。