中古 ASYST IsoPort #9390006 を販売中

ASYST IsoPortは、自動ウェーハ処理装置を介してウェーハを転送するように設計されたロボットウェーハハンドラです。このロボットウェーハハンドラは、加工されたウェーハの正確で再現性のある信頼性の高い輸送を提供するために最適化されています。メカニカルガントリーシステムとコンピューター制御のモーションコントロールユニットを備えています。ガントリーマシンは3軸で構成され、3次元でロボットの正確かつ正確な動きを提供します。ロボットの動きはステッピングモーターおよびサーボモーター技術によって一貫した工具先端の正確さおよび再現性を保障するために運転されます。このツールは、ビジョンガイドアームを使用して、ツールベッドにウェーハを配置します。ビジョンガイドアームは、取り扱い前にウエハの形状とサイズも検証します。コンピューター制御のモーションコントローラは、ロボットの速度、加速、減速などの動きを制御するようにプログラムされています。これにより、ロボットは各ハンドリング操作に適切な速度と速度を選択することができます。プログラム可能な制限に従って、これらの速度と速度を調整するようにプログラムすることもできます。IsoPortは、さまざまなウエハサイズとタイプで使用するように設計されています。ラウンドウエハとフラットウエハの両方に対応し、ツールベッド、クリーン処理ユニット、およびシングルウエハ転送システム間の転送に使用できます。ASYST IsoPortは、高温環境での安全で効率的なウェーハ処理のために設計されました。アセットには、各ハンドリング操作の開始と終了に自動的に配置されるセーフティアームが装備されています。これにより、ロボットやウェーハの損傷リスクを低減し、事故を未然に防ぐことができます。また、自動シールド装置を搭載し、安全アームを瞬時に閉じてロボットやウエハーを保護します。IsoPortは容易な維持および修理のために設計されています。システムには、潜在的な問題を検出して警告することができる診断ユニットが装備されています。機械はまた、ロボットに修理や調整を行う方法についての詳細な指示を提供します。全体として、ASYST IsoPort Wafer Handlerは高度なロボットツールであり、処理されたウェーハの正確で反復可能で信頼性の高い輸送を提供します。メンテナンスや修理が容易に行えるように設計されており、幅広いウエハサイズやタイプに安全かつ効率的に対応できます。