中古 ASYST IsoPort #9298304 を販売中

ASYST IsoPortは、ハイスループット動作用に設計された精密ウェーハ処理装置です。ユニークなオートローダー/アンローダーと幅広いツールオプションを備えています。使いやすい設計で、迅速かつ効率的なウェーハ転送または移動を行うことができます。IsoPortはロボットアームを内蔵しており、最大300mmのウェハサイズをサポートできます。アームは4つの自由度（DOF）を持ち、より広い動作範囲を実現し、安定性と振動フィードバック低減のために炭素鋼シャーシに取り付けられています。アームはブラシレスDCサーボモータで駆動され、最大1200ポンドの力で物体を動かすことができます。精密モータ制御により、正確で滑らかな動きが保証され、ASYST IsoPortは幅広い包装サイズと材料をサポートできます。IsoPortは、最高の精度と再現性を実現するクローズドループ制御システムを備えています。この高度なユニットは、追跡精度を高めるために内蔵のビジョンマシンを利用しています。ロボットは、最大3つの独立したツールヘッドを配置するようにプログラムすることができ、それぞれがピック操作と配置操作を実行することができます。ASYST IsoPortは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスとソフトウェアをカスタマイズする機能も備えています。IsoPortは、最高の安全性と信頼性を提供するように設計されています。ロボットのグラップルポイント付近で障害物が発生した場合にロボットを停止させる自動保護機能を備えています。これは、ロボットとウェーハの両方を保護するためです。ASYST IsoPortはまた、安全メカニズムを使用してオペレータの近接性と積み下ろし操作の完全性を監視します。また、IsoPortには独自のアクティブバイブダンピング技術と、より静かな動作のための低ノイズ動作を搭載しています。また、簡単な統合とメンテナンスのためのモジュラーアーキテクチャを備えており、ULおよびCEによってテストおよび認定されています。ASYST IsoPortは、大量のウェハハンドリング操作のニーズを満たすように設計された汎用性の高いツールです。スピード、精度、再現性に優れ、幅広い用途に最適なツールです。ユーザーフレンドリーなデザインと革新的な機能を備えたIsoPortは、あらゆるウェハハンドリング操作にとって非常に貴重な資産です。