中古 ASYST IsoPort #9255532 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体およびマイクロエレクトロニクス処理における産業オートメーション用途向けに設計されたウェハハンドラです。それはあらゆる適用の特定の必要性を満たすためにカスタマイズすることができるモジュール式のウェーハの処理装置です。IsoPortは、安全で汚染のない環境でウェーハのローディングからウェーハのアンロードまで、ウェーハを正確に輸送、整列、検査できます。ASYST IsoPortはモジュール設計に基づいており、ユーザーのニーズに応じてコンポーネントをカスタマイズできます。中心の部品は直径25 cmまでのウェーハを扱うことができる移動ロボットです；ロボットの精密アライメントと指導を提供するロボット誘導システム。そしてIsoPortのウェーハチャンバーへのウェーハの積み下ろしをサポートするオーバーヘッドCAE。追加のオプションのアクセサリは検査ユニットであり、欠陥を検出したり、ウェーハ上の特徴を分析するための自動ビジョンマシンを提供します。ASYST IsoPortはまた、傷害のリスクを減らすために、丸みを帯びたコーナーや滑らかな表面などのさまざまな安全機能、および人員やウェーハを汚染から保護するための改ざん防止安全扉を提供します。また、ウェーハハンドリングツールは防塵・密閉されており、ウェーハチャンバー内に防塵アセットを内蔵しており、ハンドリング時にウェーハが汚染されない環境を確保しています。IsoPortはエネルギー効率に優れており、低消費電力のステッピングモーターとブラシレスリニアアクチュエータを備えており、正確な動作を実現し、エネルギーコストを削減し、より静かな動作を保証します。ASYST IsoPortは設定可能なソフトウェアモデルも提供しており、ユーザーは特定のニーズに応じてIsoPort設定をカスタマイズできます。これにより、プロセスフローの最適化、スループットの向上、信頼性の高い再現性の高いプロセスの確保が可能になります。全体として、ASYST IsoPortは産業オートメーションおよびウェーハ処理に最適なウェーハ処理装置です。モジュラー設計、設定可能なソフトウェア、さまざまな安全機能により、ユーザーはシステムを正確なニーズに合わせて調整できます。一方、エネルギー効率と防塵環境により、ユーザーは繊細なウェーハを処理するための信頼性の高い、汚染のないユニットを確保できます。