中古 ASYST IsoPort #9255530 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体製造プロセスで使用される高精度、低粒子ウェハハンドラです。過酷で過酷なプロセス環境において、信頼性が高く正確で再現性のある動作を提供するように設計されています。IsoPortウェハハンドラの主なコンポーネントには、マルチステーションロボットアーム、ウェハトランスファー装置、ウェハストレージシステムがあります。ASYST IsoPortのロボットアームにはカスタムエンドエフェクターが装備されており、選択された産業および極低温環境でウェーハを安全に取り扱い、正確に配置することができます。アームは電気モーターで駆動され、特許取得済みの低振動サーボドライブを使用して、振動、アウトガス、粒子発生を最小限に抑えます。ウェハトランスファーユニットは、リニアモータモジュールを使用して、プロセスサイクル内の指定されたポイントにウェハを正確に配置します。ウェーハストレージマシンは、コンピュータによって管理されたカルーセル型の在庫で構成されており、オペレータにウェーハへの効率的で容易なアクセスを提供します。IsoPortウェーハハンドラの主な利点は、再現性、精度、およびコンパクトな設計です。ロボットユニットはエンドエフェクターの正確かつ再現性のある位置決めを提供し、低振動サーボドライブは汚染を最小限に抑えます。ウェハトランスファーツールは精密かつ再現性があり、高速でも正確にウェハを運び、配置することができます。最後に、コンパクトな設計により、産業用および極低温環境の狭いスペースに簡単に収まることができます。ASYST IsoPortウェハンドラは、効率的な操作と耐久性を提供するように設計されています。冗長インターロックと衝突防止センサーを備えており、損傷や汚染から部品と部品を保護します。最後に、ステンレス鋼とプラスチックの設計は、密閉された、融合された、シールドされた環境とともに、アウトガスや汚染を低減し、最も要求の厳しいアプリケーションでも部品を保護するのに役立ちます。