中古 ASYST IsoPort #9255526 を販売中

ASYST IsoPortは、複数のウェーハ処理ツール間でウェーハを迅速かつ正確に移動するように設計された自動ウェーハハンドラです。半導体製造、MEMSデバイス処理、光学デバイス処理などのアプリケーションに最適なソリューションです。このウェーハハンドラは、優れたパフォーマンスを提供するために構築された完全にスケーラブルで信頼性の高いプラットフォームに基づいています。ツールとプロセスモジュールを素早く切り替えることができ、高品質な結果を得るための堅牢な環境を提供します。IsoPortは、ダイレクトドライブ技術を搭載したX/Y軸位置システムを使用して、最大200mmのウェーハの精密処理を保証します。X/Y軸は、ウェーハのハンドリングとチェンジオーバーを高速化し、ウェーハの取り外しと配置のための深さの垂直Z移動を含む複数のステージ位置の自動移動を可能にします。リフトアームを一体化した技術により、高速ヘッドスピードによりサイクルタイムを短縮し、同時に複数のウエハ（最大4本）を搭載することが可能です。ユーザーインターフェイスには直感的なグラフィックユーザーインターフェイス（GUI）が含まれており、オペレータは自分自身をカスタマイズして管理することができます。ASYST IsoPortは、システムの一部としてリモートサービス機能と診断を提供します。IsoPortはモジュラーコンセプトで設計されており、各アプリケーションのさまざまなニーズに合わせて簡単に構成を調整できます。このウエハハンドラは、ライトカーテンやパッシブESD保護などの機能と最大限のクリーンルーム互換性を提供するように設計されています。ASYST IsoPortウェーハハンドラは、最短時間でツール間で転送されるウェーハの数を最大化することで、生産性を最大化するように設計されています。また、正確な結果を提供しながら、サイクルで使用される時間を最小限に抑えるように設計されています。位置のデータロギングやロードパラメータなどのその他の機能により、詳細なトレーサビリティが可能です。IsoPortウェハハンドラは、あらゆるデバイス処理プロセスにおいて安全性が重要な要素であるため、ウェハーの自動取得や防塵用の専用フィルタシステムなど、複数のフェイルセーフ機構を備えています。このウェーハハンドラは、最も過酷な環境で動作および実行するように構築されており、高効率、高速処理、および清潔度の向上を確実に提供します。