中古 ASYST IsoPort #9249554 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体加工ツールの自動化のために設計された統合ウェハハンドラです。この機械は、クリーンルーム環境での素材および加工された半導体ウェーハの輸送用に設計されています。ロードポートからシングルウェーハプロセスチャンバーなどのさまざまなオペレーティングツールに直接ウェーハを転送することができます。IsoPortは、最大8つのロボットアーム、高品質、エアミステーション、イオン化システムを組み合わせて、ウェーハをステーションからステーションに素早く安全に移動できます。さらに、自動キャリブレーションシステムを搭載し、必要に応じてウェーハのグリップ力を素早く調整できます。ASYST IsoPortにはISO Class 4クリーンルーム定格も装備されており、超清浄および汚染制御環境に最適です。1サイクルで最大25個のウェーハを転送でき、最大回転数は1時間あたり100 50（150）のウェーハです。さらに、標準的なSiC（炭化ケイ素）コーティングを備え、適切なマルチポイントウェーハ検出システムを装備しており、各処理サイクル前に正確なウェーハ識別を保証します。さらに、IsoPortは一連のガスセンサーを備えているため、オペレータはプロセスガスをより正確かつ効率的に監視および制御することができます。また、パーティクルモニターを備えており、オペレータはクリーンルームの大気中の粒子、破片およびその他の汚染を簡単に検出することができます。さらに、カセット・ツー・カセット機能も備えており、機械を既存の自動生産ラインに統合することができます。最後に、ASYST IsoPortは、高度なモーションコントロール技術と高度なオートメーションソフトウェアを使用して、ダウンタイム、コスト、環境への影響を軽減するように設計されています。ユーザーインターフェイスには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれており、マシンを迅速かつ正確にセットアップおよび操作するために必要な情報を提供します。また、安全センサーと特別なハンドリング動作を備えており、輸送中のウェーハへの損傷のリスクを最小限に抑えます。