中古 ASYST IsoPort #9224953 を販売中

ASYST IsoPortは、200mmウェーハ処理装置に統合されるように設計された自動ウェーハハンドラです。本番環境内でウェーハやキャリアフレームを確実かつ効率的に輸送する方法を提供します。IsoPortウェーハハンドラはステッピングモータを駆動し、最大負荷10lbsの直径8インチまでのウェーハを動かすことができます。ASYST IsoPortは、ウェーハの損傷を防ぐために一定の温度と湿度を維持するように設計されています。取り外し可能なカセットシステムを備えており、複数のウエハを一度に収納できます。IsoPortには、ウエハミスアライメントを検出し、それに応じて自動的に調整することができる「ビジョンシステム」が内蔵されています。また、自動化された真空チャックを備えており、ハンドリング面へのウェーハの確実な転送を保証します。信頼性の面では、ASYST IsoPortは優れた性能を持っていることが証明されています。これは、最大100,000+時間の過酷な条件下でテストされ、最大100,000時間のMTBF （Mean Time Between Failures）が可能です。さらに、シンプルなセットアップ、信頼性の高いパフォーマンス、メンテナンスフリーの操作により、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。IsoPortウェーハハンドラは、SEMI規格を満たすように設計されており、既存の生産環境に改造することができます。200mmウェーハ加工装置に対応し、納期は8週間です。ASYST IsoPortは、200mmウェーハ加工装置に加え、信頼性の高い効率的なウェーハ処理を保証します。信頼性の実績と既存の生産環境に容易に統合できるIsoPortは、ウェーハハンドリングプロセスを合理化したい人に最適です。