中古 ASYST IsoPort #9213030 を販売中

ASYST IsoPortは、ASYST Technologiesによって開発されたSEMI S2準拠のウェハハンドラです。半導体ウェーハの迅速かつ信頼性の高い取り扱いに最適で、半導体製造から試験まで幅広い用途に対応します。IsoPort装置には、沈着、エッチング、検査、およびテストのための複数のプロセスツールが装備されています。その先進的で使いやすいロボットアームは、プロセス領域全体にウェーハを移動させることができます。このシステムは、オペレータの介入を最小限に抑えて設計されており、経験に関係なく、誰でも素早くセットアップおよび操作できます。ウェーハハンドラは、取り外し可能なトレイとカバーを備えた安全な回転テーブルを使用して、プロセスモジュール間のウェーハの安全な輸送を保証します。各トレイは、ウェーハを高速で安全にフィットさせて移動させ、プロセス全体でウェーハの完全性を確保するように設計されています。トレイには標準サイズのウェーハが搭載されており、異なるサイズのウェーハに対応するためにカスタムサイズのトレイを装着することができます。安全な回転テーブルは、処理中にハンドラの外縁から回転して汚染を最小限に抑えるように設計されています。ASYST IsoPortウェハンドラは、さまざまなプロセスの信頼性を確保するために、耐久性の高いコンポーネントと材料で作られています。フレキシブルな設計により、メンテナンスが容易になり、摩耗部品をすばやく交換することができます。また、独自のサーマルプロファイルコントロールユニットを内蔵しており、ウェーハを均等に加熱し、誘電成膜などの精密な温度制御を必要とするプロセスに最適です。IsoPortウェーハハンドラには、2つのコンベアベルトと、ウェーハの高速自動ローディングとアンロードのための特別な電動アームが装備されています。これにより、最適なスループットと一貫した結果が保証されます。これにより、コンベアベルトとアームの動きを微調整することができ、ウェーハの完全な柔軟性とプログラム可能な動きを提供します。また、緊急時にツール全体を停止させることができるEストップマシンを含む、多くの安全機能が装備されています。ASYST IsoPortウェハンドラは、さまざまな直感的な機能と強力なデータ分析機能を備えています。プロセスと履歴データを格納する包括的な内蔵データベースを備えており、プロセスの可視性と効率を高めるためにダウンロード、閲覧、解釈することができます。このアセットには、ソフトウェア制御の強力なビジョンモデルもあり、ウェーハを自動的に検査し、欠陥を特定し、ログのレポートを有効にすることができます。全体として、IsoPortウェーハハンドラは、迅速かつ効率的にウェーハを処理するように設計されています。その高度な技術、強化された設計、強力なツールは、あらゆる半導体ファブまたは試験施設に最適です。