中古 ASYST IsoPort #9206458 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体製造オートメーションソリューションの業界リーダーであるASYST Technologiesによって開発された高性能でカスタマイズ可能なオートメーションツールです。IsoPortは、最大200mmウェーハの位置決め、転送、テストが可能なウェーハハンドラです。信頼性の高いSCARA型ロボットを使用して、すべてのウエハハンドリング機能を実行し、正確かつ再現性の高い結果を提供します。大量生産だけでなく、パイロットランや少量開発サイクルにも適しています。強固なフレームと固体ロボットコンポーネントを中心に構築されたASYST IsoPortは、信頼性が高く安定した動作が可能です。ロボットベースは、ウェーハの取り扱いに必要な直線運動と回転運動の両方を堅牢にサポートします。精密デジタル駆動装置は滑らかで正確な動きを提供し、反復可能な移動を保障します。デュアルアームシステムは、安全で繊細なウェハハンドリング操作を提供するように設計されています。ウェーハアームの表面接触面積は、ウェーハを損傷することなく動かすために必要な最小限のハンドリング力のために最適化されています。IsoPortは、高度なユニット制御ユニットとユーザーフレンドリーでグラフィカルなHMIを備えています。マシンコントロールはマイクロプロセッサをベースにしており、ウェハハンドリング操作をカスタマイズするためのさまざまな機能と効率的なオペレータインターフェースを提供します。統合されたHMIはロボットのセットアップと操作を簡素化し、ユーザーは必要なウェーハの向きやその他の転送パラメータを指定することができます。ASYST IsoPortは、振動制御技術を採用し、スムーズで正確なウェーハ処理を実現しています。振動検出機能を内蔵し、必要に応じてロボットの移動速度と加速度を調整することができます。これは、転送中に脆弱なウェーハを損傷するリスクを軽減するのに役立ちます。IsoPortには、ウェーハの自動特性評価、過圧/低圧デバイス検出のオプションも含まれています。これらの安全機能は、ウェーハのバイアスとハンドリング条件を許容範囲内に維持するのに役立ちます。ASYST IsoPortのモジュラー設計により、既存の製造ラインへの統合が容易になり、将来の拡張のためのスケーラビリティが可能になります。高速処理、精密モーションコントロール、優れた安全機能を兼ね備えたIsoPortは、半導体加工アプリケーションに最適です。