中古 ASYST IsoPort #9194229 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体製造プロセスの効率を向上させるために設計された柔軟で信頼性の高いウェーハ処理装置です。これは、高度なASYST VTensorプラットフォーム上に構築されており、ウェハマッピング、ソート、およびパッケージングの自動化のためのシングルシステムソリューションを提供します。このユニットは、2インチの小型ウェーハから6インチのウェーハまで、直径200mmまでのウェーハを迅速かつ正確に取り扱うように設計されています。IsoPortは、ウェーハの取り扱いと処理のための高度な機能を提供します。高精度な位置決め技術により、最大0。25 umの精度の再現性と正確な動作を提供します。特に、小さなフィーチャーサイズで動作する場合。このマシンはまた、粒子領域の分布と移行のない工具操作を確実にするためのユニークで特許取得済みの技術を提供しています。ASYST IsoPortのエアベアリングプラットフォームと統合された真空アセットにより、粒子発生を最小限に抑えた正確なウェーハ処理が可能です。均一な気流によりダスト粒子の蓄積を防ぎ、厳しいコンタミネーション制御条件を実現します。さらに、高速な処理時間と短いプロセスサイクルにより、高いスループットを達成できます。また、ウェーハ層のパターンを表示してプロセス制御を行う「ウェーハマッピング」など、高度なプロセス最適化ツールも提供しています。さらに、そのインテリジェントなロボットアームは、速度制御を変化させることができ、あらゆる操作で正確な動きと高解像度を提供します。そして、その「Trapbox」技術は、断片化されたウェーハ片がクリーンルーム環境で浮遊するのを防ぎます。IsoPortウェーハシステムは信頼性が高く、コスト効率が向上します。柔軟で自動化されたユニットにより、複数のプロセスをステップに組み込むことができ、ユーザーにいくつかのメリットをもたらします。その結果、機械はプロセスの品質と生産歩留まりを向上させ、歩留まり損失を最小限に抑えます。ASYST IsoPortは、複数の業界で重要な半導体製造環境の高性能アプリケーションに最適です。