中古 ASYST IsoPort #9189356 を販売中

ASYST IsoPortは、高度な半導体アプリケーション向けに設計されたプレミアムリモートコントロール、ロボットウェハハンドラです。IsoPortは、非対称ロードポートと同様の低EMI、高精度モーションテクノロジーを備えた汎用性の高いウェハハンドリング機器です。このシステムは、広大な作業領域にわたって複数の大型ウェハを素早く正確かつ独立して移動させることができます。ASYST IsoPortは、最大1,500mmの角形ウエハを時速54本の速度で処理できる空気圧駆動ユニットです。それは天井および床の取付け可能な部品と組み立てられ、ユーザーにウェーハ道の究極の制御を与えます。IsoPortは、振動とジッタを最小限に抑えたウェーハの正確な位置決めと取り扱いを可能にする独自のステッピングモータ技術を採用しています。機械の高度なデジタルサーボモータ技術は、低騒音と低振動で正確で高速な動作を保証します。ASYST IsoPortは、ASYST独自の静電保護（ESP）技術の恩恵を受けています。すべてのロボットハンドリングユニットと同様に、静電気を低減し、微細な機器やプロセスから粒子を遠ざけるために、最適な接地と運動分離で設計および構築されています。このツールには、ウエハの向きを測定し、常に完璧なアライメントに保つための迅速な調整を行うキネマティクスも装備されています。IsoPortは、半導体処理における高生産性ウェーハ処理のニーズの高まりを満たすように設計されています。堅牢な構造と長寿命の部品は、幅広い動作環境で優れた性能と耐久性を提供します。また、包括的なリアルタイム監視およびデータロギング機能を提供する高度な制御ソフトウェアと統合されているため、ユーザーはウェーハ処理モデル内の問題をすばやく特定して診断することができます。要するに、ASYST IsoPortは、1時間あたり54ウェハの速度で様々な正方形のウェハを処理することができる優れたリモートコントロールのロボットウェハハンドラです。それは静的充満を減らすために高度の動きの技術および静電気保護が装備されています。さらに、この機器のロボット処理機能は、高度な制御ソフトウェアと統合されており、監視機能とデータロギングを提供し、ユーザーが問題を迅速に特定して診断することができます。