中古 ASYST IsoPort #9128307 を販売中

ASYST IsoPortは、自動化されたウェーハ処理システムで使用するために設計されたウェーハハンドラです。IsoPortは、フロントオープンユニファイドポッド（FOUP）でウェーハを転送するための高精度で信頼性の高い方法を提供します。ASYST IsoPortは、既存システムへの容易な統合を可能にするコンパクトな設計と軽量設計により、貴重なスペースを節約できます。IsoPortには特許取得済みの絶縁技術が搭載されており、ウェーハの積み込みと積み下ろし作業を清潔で汚染のないようにします。静電気放電（ESD）保護装置を内蔵しており、取り扱い時の敏感部品の損傷を防ぎます。ユニットは、各インストールの特定のニーズに合わせて調整することができ、強力で信頼性の高い制御システムソフトウェアによって制御されます。ASYST IsoPortには、ウェーハの転送と位置決めを最適化するための真空カセットトランスファーユニット（標準のクリーンルーム対応）が含まれています。さらに、統合されたeasyFOUPインターフェイスにより、ユーザーはウェーハ処理システムの幅広いプロセスツールからIsoPortを直接制御できます。ASYST IsoPortは、最適な清潔性、安全性、信頼性を確保するために設計および設計されています。その高度なソリッドステートマシンは、パフォーマンスを向上させ、自動化されたウェーハ処理システムの厳しい要件に対して信頼性の高い低メンテナンスソリューションを提供します。IsoPortは、ポッドの位置を監視および制御するクローズドループのフィードバックセンサーを使用して、ウェーハの正確な処理を提供します。このユニットには、屋外設置用に設計された屋外アダプターが装備されており、ウェーハ処理ツールのユーザーとプロセスに追加の保護を提供します。ASYST IsoPortは、大規模なウェーハ処理システムに最適なソリューションです。IsoPortの革新的な機能と小型フットプリントにより、研究開発から半導体製造および試験まで、さまざまなアプリケーションに適しています。