中古 ASYST IsoPort #293822205 を販売中

ASYST IsoPortは、カセット、コンテナ、FOUP、ブレードの自動処理用に設計されたウェハハンドラです。IsoPortは、スタンドアロン機器として動作するか、既存のロボットやオートメーションシステムと統合することができます。ASYST IsoPortは、ウェーハ、基板、パッケージ、カセット、ブレードを含むすべてのタイプのコンポーネントまたは部品のハンドリングを自動化するための信頼性が高く、柔軟かつ経済的なソリューションを提供できます。IsoPortは、高速かつ正確な移動のためのスカラ型メカニズムを使用した高精度のシングルアームロボットを提供しています。エレクトロメカニカルリニアアクチュエータを使用して、ウェーハをカセット/コンテナからエンドエフェクター治具に押し込みます。ACサーボモータとリゾルバは、振動のないスムーズな位置と、高い再現性と精度で速度制御を提供します。ASYST IsoPortにはユーザーフレンドリーな直感的なグラフィカルインターフェイスがあり、簡単なオペレータガイダンスとプログラミングが可能です。このシステムには、ウェーハのピックおよび配置操作を最適化するために特別に設計された真空制御ユニットが装備されています。また、Ultra High Frequency （UHF） RFIDマシンを統合することで、さまざまな種類のウエハカセット、コンテナ、ブレードを高効率かつ高精度に取り扱うことができます。IsoPortは、生産環境やラボで継続的に動作するように設計されています。モーション機能により、シングルウェーハから200mmウェーハまでのウェーハサイズの全範囲にわたって、ウェーハを横断、チップ、回転、持ち上げ、およびプッシュ/プルすることができます。さらに、ASYST IsoPortには、ロボットビジョン、エンドエフェクター変換キット、チルトモジュール、見えないレーザーアラーム、品質管理のための360度の画像キャプチャなど、さまざまなオプションとアクセサリーがあります。これらはすべて顧客の特定の条件に従って合わせることができます。IsoPortは、安全性、クリーンルーム操作、および環境保護のための世界標準に準拠しています。これは、複雑なバッフルと空気の避難と空気供給のためのフィルタツールを持っています、洗練された音響断熱材と一緒に、超低ノイズ性能を可能にします。全体として、ASYST IsoPortは、最も要求の厳しいウェーハハンドリングアプリケーションに迅速かつ正確で信頼性の高い結果を提供するように設計された、高性能で柔軟なウェーハハンドラです。低コストでありながら効率的な完全自動ハンドリングソリューションを必要とするお客様に最適なソリューションです。