中古 ASYST IsoPort #293793872 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体製造プロセスに必要な絶縁段階を通じて半導体ウェーハを移動するように設計されたウェーハハンドラです。絶縁プロセス全体を通してウェーハの位置に留まることを可能にする統合された圧力センサーが付いている誘電バリアを特色にします。IsoPortは、+/-1。5°Cの印象的な再現性と0。1°Cの動き分解能で精密絶縁を提供するように設計されています。ウエハハンドラには、絶縁ステップを介してウエハを配置するための空気圧式のフルレンジのモーションアームが装備されています。ASYST IsoPortは、カスタム設計されたアクティブヒートバランスシステムも備えており、絶縁プロセスを通じてウェーハの正確な温度制御と均一な加熱/冷却を可能にします。さらに、IsoPortは卓越した信頼性を提供し、高エネルギー蒸着や広い熱勾配などの極端な条件で動作することができます。さらに、ウェハハンドラは既存のすべての半導体プロセス装置と互換性があり、オゾンおよび高スループットプロセスチャンバーとの互換性を提供します。高度な機能を備えたASYST IsoPortは、最先端の半導体デバイスの製造において最適な結果と優れた性能を提供します。