中古 ASYST IsoPort #293768661 を販売中

ASYST IsoPortは、隔離された環境でウェーハカセットからウェーハを転送するために使用される自動ウェーハハンドラです。一連の統合ウェーハキャリアと真空ポッドを備えており、ウェーハカセット、加工ツール、およびロードロック間のウェーハの移動に使用できます。IsoPortはまた、ウェーハを処理しながら音響干渉を防ぐ、遮音機能を備えています。ASYST IsoPortは、堅牢で信頼性の高いリニアモーション機器を使用して、カセット、ツール、およびロードロック間でウェーハを移動します。このモーションシステムはカーボンファイバーベースであり、ウェーハを迅速かつ正確に処理することができます。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、さまざまなオートメーションソフトウェアと互換性があり、使用の柔軟性を高めています。IsoPortは、-20°Cから55°Cまでの幅広い温度範囲で動作し、処理プロセス中に環境が完全に絶縁されていることを確認することもできます。ASYST IsoPortも安全性を考慮して設計されています。自動ドアとオートシャットオフ機を備えており、取り扱い中に事故が発生しないようにしています。このツールはまた、誤差の検出や微小回路の寄生露光にも二重発生検出器を使用しており、エラーのないウェーハ処理を保証します。IsoPortには、過剰な力によるウェーハへの潜在的な損傷を防ぐ保護力モニタリングも装備されています。ASYST IsoPortには設定可能な作業エリアもあり、ユーザーのニーズに応じて柔軟性を高めます。さらに、必要に応じて迅速に移転し、既存の生産ラインに統合することもできます。IsoPortは、ツールやドライボックスの保管や輸送、液体化学物質の取り扱いなど、他のいくつかのアプリケーションにも使用できます。全体として、ASYST IsoPortはウェーハをウェーハカセットから処理ツールおよび背面に転送する場合に優れたパフォーマンスを提供します。それは堅牢で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと温度制御のための幅広い温度範囲を備えています。IsoPortは、自動シャットオフアセットやウエハハンドリング時の精度を確保するためのフォースモニタリングなどの安全オプションも提供しています。自動化されたウェハハンドリングとウェハアイソレーションを必要とする半導体業界の人々にとって理想的なソリューションです。