中古 ASYST IsoPort #293768262 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体の製造に使用される自動ウェハハンドラ装置です。このデバイスは、さまざまなサイズ（6インチおよび8インチのウェーハを含む）のウェーハを処理し、それらをプロセスチャンバーに配置するように設計されています。IsoPortはステンレス鋼で構成されており、ウェーハ搬送のための安定した安全で安全な環境を提供します。このデバイスは、1時間あたり最大124ウェーハの速度が可能で、平均転送速度は1時間あたり90ウェーハです。デバイス設計には、ウェーハをピックして配置する2段階の真空システムが含まれています。これらのステージは、プロセスの速度を制御するドライブモーターと、ウェーハをつかむための真空ヘッドで構成されています。後者のコンポーネントは、フロント開口部のユニファイドポッド（FOUP）またはフラットカセットと互換性があるように設計されています。ASYST IsoPortは、粒子数、エアロゾル、湿度、温度などのすべての重要なプロセスパラメータに低粒子環境を提供します。このデバイスは、超きれいなインテリアで設計されており、粒子を検出するように設計されたインテリア照明ユニットを備えています。IsoPortのエアフィルトレーションマシンは、最大の粒子制御のために高効率の粒子空気（HEPA）フィルタを使用しています。ウェハハンドリングロボットの設計により、ウェハハンドリングプロセスの安全性がさらに向上します。ロボットは、高精度で物体を認識することができる3軸センシングツールを提供する専用の運動光学システムを持っています。このアセットには、ウエハの形状、サイズ、向きを認識するビジョンセンサーと、ロボットのエンドエフェクターとウエハの距離を測定するレーザーレンジファインダーが含まれます。ロボットは異常な状態を検出し、ウェーハへの損傷を避けるためにすぐに停止できます。ASYST IsoPortには、中断のない操作のために設計された高効率のフォルト耐性制御モデルが装備されています。この機能により、ウェハハンドラは電源障害、通信エラー、および環境障害を介して動作することができます。さらに、このデバイスは直感的で使いやすいコントロールインターフェイスで設計されており、コンピュータまたはコントロールコンソールからリモートで制御することができます。全体として、IsoPortはさまざまなサイズのウェーハを扱うための効率的で信頼性が高く安全な機器です。このデバイスは、1時間あたり100以上のウェーハを処理することができ、ウェーハ転送のための安全で安定した環境を提供することができます。ASYST IsoPortは、取り扱い中に発生する可能性のある損傷やその他の潜在的な危険からウェーハを保護するためのさまざまな安全機能を備えています。また、高効率のフォールトトレラント制御システムとユーザーフレンドリーな制御インターフェースを備えているため、さまざまなアプリケーションに適しています。