中古 ASYST IsoPort #293668624 を販売中

製造業者
ASYST
モデル
IsoPort
ID: 293668624
Load port.
ASYST IsoPortは、幅広い半導体アプリケーション向けに設計された汎用性の高いウェハハンドラです。標準の200mm、 150mm、 125mmウェーハを1つのウェーハスタッキングカセットから別のカセットに精度と速度で転送することができます。IsoPortのコンパクト設計により、クラスタツール、スタンドアロンウェーハ転送ステーション、ウェーハハンドリングロボットなど、さまざまな場所に設置できます。その信頼性と設計は、さまざまなセットアップで最適なパフォーマンスを提供します。ASYST IsoPortは、3つのウェーハスタッキングカセットで構成された場合、144ウェーハ/時間の最大スループットを提供する、高いスループットレートを証明しています。フットプリントが低いため、大きなプロセスウィンチは120カセット以上の収納と転送に対応できます。クランプ機構は、安定した信頼性の高いウェーハ搬送に真空技術を使用しています。IsoPortには、簡単な操作と究極の生産性を実現する直感的な制御システム、さまざまなレポートオプション(ハンドル時間の正確な分析、出力、ウェーハ数など)、および最適な汚染防止のためのポート分離機能など、他の重要な機能もあります。また、ウェハハンドリング時の環境制御用のオプションの不活性ガス源も装備しています。ASYST IsoPortは、ほとんどのOEM製品仕様に適合するように設計されており、生涯保証が含まれており、お客様に安心感を提供します。クリーンルーム設備と互換性があり、ISOクラス9環境で使用できます。全体として、IsoPortは効率的なウェハハンドラであり、幅広いウェハサイズとコンポーネントに信頼性の高い転送を提供します。それはユーザーフレンドリーで信頼性が高く、ハンドラのセットアップと操作が最大限に簡単に行われるようにします。ASYST IsoPortは、今日の半導体産業にとって画期的なイノベーションです。
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