中古 ASYST IsoPort #293649502 を販売中

ASYST IsoPortは、半導体ウェーハの真空加工ツールへの転送を容易にするために設計されたウェーハハンドラです。6インチと8インチのウェーハに対応できる非接触、非真空、スキャンウェーハローディングステーションです。IsoPortの主な特許取得済みのシリコンチップは、フロントサイド（浅い）エッジにウェーハを取り付けるソフトなスプリングマイクロメータチップと、ウェーハ寸法をマッピングする革新的なサーマルスキャナー機構です。これにより、さまざまなウェーハサイズに機械的に調整することが可能になり、真空加工ツールへのウェーハの安全で信頼性の高い転送を実現します。ASYST IsoPortには、一度に単一のウェーハを転送するための専用の100ミクロンのサイズのギャップがあり、事前アライメントやツールの使用は必要ありません。代わりに、マッピングされたサーマルスキャナデータに依存して、ウェーハを高速で転送する際に正確な位置登録を維持します。ウェハハンドラは、ユーザーがそれを制御し、監視することができるそのホスト機器と通信するために色のタッチスクリーンディスプレイを使用しています。IsoPort信号ボードは、トランスファー中に発生する可能性のあるチャンバーロックとアンロードエラーを直接表示します。これにより、オペレータはエラーをすばやく特定して修正できます。ウェーハハンドラは、最小床面積を節約するように設計されていますが、ユーザーはツーリングを簡単に調整し、必要に応じてコンポーネントを交換することができます。ASYST IsoPortのステンレス製の内部は、化学的に攻撃的な液体を処理し、過酷な温度にさらされたウェーハをテストすることもできます。システムの最大稼働時間を確保するため、IsoPortには、エラーを監視および報告する自己診断ファンなど、さまざまなユニット診断機能が内蔵されています。また、リアルタイムセンサを備えた統合型クローズドループフィードバックマシンを搭載しており、より正確なキャリブレーションを実現し、ウェハを正確に熱伝達するためのリアルタイム熱電対を備えています。全体として、ASYST IsoPortは信頼性の高いパフォーマンスと高速ウェーハ転送を提供するように設計された汎用性の高いウェーハハンドラです。革新的なサーマルスキャナとセンサーベースのフィードバックシステムにより、転送中に正確な位置登録が可能になり、ユーザーはリアルタイムでツールを監視できます。IsoPortは、最大のアセット稼働時間と最小限のフットプリント設定を提供するように設計されています。