中古 ASYST IsoPort #146783 を販売中

ASYST IsoPortは、集積回路（IC）ウェハの移動および処理に使用されるASYST Technologiesによって作成されたウェハハンドラです。IsoPortは、単一の自己完結型ユニットに含まれているさまざまなコンポーネントで構成されています。ASYST IsoPortは、搬送ロボットとハンドラーロボットの2つの主要コンポーネントで構成されたロボットユニットです。移動ロボットは、クライオ真空と6つの独立した関節アームを持っています。これは、ICウエハーを1つの生産ステーションから次の生産ラインに輸送するために使用されます。ハンドラーロボットは、5つの信頼性の高い関節アームを使用して、ICウェーハを転送ロボットからウェーハアセンブリ領域に移動させます。IsoPortは、その主な目標として、精度、正確さ、柔軟性を備えて設計されています。そこでASYST IsoPortは、各トレイに含まれるウェーハの数を識別し、基板に存在する異常を検出できるウェーハ画像認識装置を搭載しています。これにより、ウェーハを迅速かつ正確に転送および処理できるようになります。IsoPortはまた、エンクロージャ内の独自の赤外線温度制御環境を誇っています。これにより、デリケートなウェーハを損なうことなく、接着などの温度に敏感な操作が可能になります。基板の整合性が損なわれないように、ウェーハの搬送や取り扱い時に迅速な反応と「ソフト」な処理を行うようにプログラムされています。ASYST IsoPortはまた、ロボットアームが正確にウェーハを見つけることができるように、3次元マッピングシステムを搭載しています。マッピングユニットは、最大4つの異なる本番レシピを保存でき、ユーザーは本番実行ごとに個別のマッピングオプションを定義できます。最後に、IsoPortは使いやすさを念頭に置いて設計されています。ASYST IsoPortのユーザーインターフェイスには、ロボットアームを簡単に制御するために使用できる小さなグラフィカルアイコンがあります。オペレータは、生産機械全体のグラフィカルディスプレイの形で生産状況を一目で確認することもできます。IsoPortは、ICウェハ製造において精度、精度、柔軟性を提供する高度な高度なウェハハンドラです。クライオ真空、画像認識、温度制御、マッピング、グラフィカルユーザーインターフェイスなどの多くの技術を利用して、ウェーハの操作と取り扱いが効率的に行われ、敏感な基板に損傷を与えることなく行われます。