中古 ASYST IsoPort 9700-9129-01 #9354500 を販売中

ID: 9354500
ヴィンテージ: 2005
Load port 2005 vintage.
ASYST IsoPort 9700-9129-01は、複雑な半導体デバイスの製造に使用される高品質の半導体ウェーハの処理を容易にする高度なウェーハハンドラです。この汎用性の高い装置は、半導体ウェーハを基板加工ライン上の指定位置に正確に供給するための誘導輸送、ダイシング、および汚染制御輸送技術を可能にします。高性能な集積回路の効率的な生産を可能にします。IsoPort 9700-9129-01は、複数の異なるユニットからなる多機能ウェハハンドラです。システムの中心にあるLoadlock Stationは、ハンドラにウェーハを素早く適切にロード/アンロードするために使用されます。さらに、このユニットは、製造プロセスが内部の部品の品質と完全性に影響を与える可能性のあるほこり、汚染物質、およびその他の粒子がないことを保証するために、ウェーハに汚染制御シールを適用します。マシンのカセットツーカセットトランスポートコンポーネントは、生産ラインのLoadlockと加工ステーションの間でウェーハハンドリングカセットを移動します。この部品を通して、ウェーハは製造工程の1段階から次の段階に安全かつ安全に移動します。ダイシングステーションは、電子デバイス内で使用するための個々のコンポーネントにウェーハを切断するタスクを実行します。このステーションには、精密切削工具を備えたロボットが搭載されており、部品の生産に最適化されています。最後に、このツールのコンタミネーションコントロールトランスポートコンポーネントは、粒子が存在する地域でも、汚染のない環境を維持しながら、生産環境をウェーハを移動するように設計されています。この部品は、高圧空気を使用して輸送ラインから汚染物質を強制的に排出し、アセットを介して粒子の輸送を防ぐ低粒子インターフェースで構築されています。全体として、ASYST IsoPort 9700-9129-01は、高性能の集積回路の生産を容易にするように設計された先進的で汎用性の高いウェハハンドラです。複数のサブシステムを介して、ハンドラは生産ラインを通じてウェーハを迅速かつ安全に輸送するとともに、デバイスで使用されるコンポーネントの品質と性能を効果的に最大化する汚染とダイシング機能を提供します。
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