中古 ASYST INX 2200 #9402256 を販売中

ASYST INX 2200は、製造環境で最大200mmウェーハの取り扱いを合理化するように設計されたロボットウェーハハンドラです。これは、ユーザーの介入なしにウェーハの迅速かつ信頼性の高い処理を提供する完全に自動化された機器です。このシステムには、自動暖房オーブン、ダスト制御システム、自動ドッキンググラップリングユニットなどの機能が搭載されています。ASYST INX2200は、インテリジェントなモーションコントロールを採用した2軸ウェーハハンドリングユニットです。最高速度750mm/秒で最大250mm/sec2の高加速を実現します。振動を最小限に抑え、スムーズな動作制御を実現し、生産性と高いスループットを実現します。INX-2200は、最大400mmのオーバーヘッドロボットアーム、自動ベーキングオーブン、冗長接点を備えた安全マットタイプのセンサーツール、自動故障検出など、幅広い機能を備えています。自動化されたオーブンは、ウェーハを異なる温度で焼くことができるように調整可能な温度範囲を持っています。これは、製造環境におけるより高い歩留まりに貢献します。安全マット型センサアセットは、ロボットの作業エリアに侵入した異物を検出し、ウェハハンドラのアームを停止させ、ウェハの損傷を防ぎます。このモデルには、ウェーハを保護するための防塵装置も含まれています。このシステムは、送風機を使用して空気の流れを継続的に誘導し、ウェーハ表面の静電気を低減します。送風機およびフィルターは一緒に環境をきれい保ち、質の結果を保障します。INX 2200は、自動化されたタスクを実行するRun Modeと、手動で調整とアクションを実行できるHand Modeの2つのモードで設計されています。また、ウェーハの安全な取り扱いのために真空ピックアップヘッドに収まるオートドッキンググレーププリングユニットが用意されています。ユニットは簡単な設置とセットアップのために設計されており、X軸とY軸での移動が可能です。全体的なユニットは、連続的で正確で信頼性の高いウェーハハンドリングを提供し、ヒューマンインターフェースを最小限に抑えるために構築されています。ASYST INX-2200は、製造プロセスの効率を合理化し、改善するためのソリューションの完全なパッケージを提供しています。高速モーションコントロール、自動ベーキングオーブン、高精度ダストコントロールマシンなどのその強力な機能は、材料処理に理想的なソリューションを提供します。ユーザーの介入と品質保証を最小限に抑えたハイスループットは、このツールの主な利点の一部です。