中古 ASYST INX 2200 #9175219 を販売中

ASYST INX 2200は、半導体製造用に設計された専用の自動ウェハハンドリング装置です。プロセスチャンバ間で効率的かつ正確にウェーハを転送できるように設計されているため、スループットが向上し、生産歩留まりが向上します。このシステムは、ウェーハローダーとウェーハキャリアの2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハローダーは、ウェーハキャリアにウェーハを手動でロードするために使用されます。ウェーハキャリアは、垂直または水平のいずれかの面でユニットを横断し、動作平面の上下にあるチャンバーに到達することができます。このツールには、4つの垂直フィールドコイルと2つの回転移動アームが垂直平面に取り付けられています。これらのコイルとアームにより、ウェハハンドリング治具内にウェハを正確に配置できます。このマシンには完全に自動化されたウェーハスキャンが装備されており、一連のスキャンと腐食ステップを実行して、ウェーハが使用可能な状態にあることを確認します。スキャンは、歪んだウェーハや割れたウェーハ、粒子、汚染、その他の欠陥を検出するように設計されています。スキャンして承認すると、ウェーハは自動的にウェーハキャリアにロードされ、転送の準備が整います。ASYST INX2200内のウェーハ転送は、フォースセンシティブプローブを備えた2つの独立したウェーハチャックを使用して行われます。プローブは、ウェーハがソースから持ち上げられ、目的地に下げられているので、ウェーハの位置を感知します。ソースと宛先は、同じチャンバー内または別のチャンバー内に配置できます。また、ウェーハチャックには、ウェーハがソースと宛先の両方の場所で安全に保持されるようにするための追加の自己活性化機能も備えています。INX-2200は非常に信頼でき、維持し易いです。障害診断ツールが装備されているため、問題を簡単に特定して特定することができます。このツールには、インターロックなどのさまざまな安全機能も含まれており、すべてのパラメータが正しく設定されるまで資産が運用を開始するのを防ぎます。ASYST INX-2200は高度に構成可能であり、各アプリケーションの特定の要件を満たすようにカスタマイズすることができます。また、直感的なグラフィカルインターフェイスを備えているため、学習と使用が簡単です。全体として、INX 2200は高精度、高収率のウェハアプリケーション用に設計された高度なウェハハンドリングモデルです。これは、プロセスチャンバ間でウェーハを転送するための信頼性が高く、効率的で正確な手段を提供します。非常に構成可能で、さまざまなアプリケーションに適しており、メンテナンスと操作が簡単です。