中古 ASYST INX 2200 #9103792 を販売中

ASYST INX 2200は、真空チャンバにウェーハを正確に転送するために設計されたウェーハハンドラです。この汎用性の高い機器は、最大直径8インチのさまざまなウェーハサイズを処理し、前後のローディングに対応することができます。ASYST INX2200は、強力で正確なワンタッチローディングシステムであるAutochuckや、ウェーハの位置決めと向きを強化するための2軸アームであるAutoRotateなどの高度な機能を搭載しています。INX-2200はオートチャックローディングユニットで動作を開始します。このマシンは、ハンドラのポートにウェーハを正確に配置し、最高レベルのウェーハ精度と再現性を確保します。オートチャックツールには、ウェハのサイズ、向き、組成を分析し、正確なフィット感を確保するセンサーが装備されています。これにより、デリケートなウェーハの損傷を防ぎ、パフォーマンスとスループットを向上させます。INX 2200は、ローディングとアンロード時に各ウェーハの向きを素早く調整することもできます。AutoRotateアセットは、2軸アームを使用して、真空チャンバーに入るか終了する前にウェーハを位置に移動します。アームの移動範囲、ウェーハ位置決め精度、再現性はすべて調整可能で、さまざまなアプリケーションの厳しい要求に対応できます。INX2200は、さまざまな環境での信頼性の高い長期運用のために設計されています。フレームは剛性と剛性を最大限に高めるために設計されていますが、軽量部品は移動質量を減らしてサイクルタイムを短縮し、パフォーマンスを向上させます。その電子制御ステッピングモータ駆動モデルは、正確なモーションコントロールと信頼性の高い動作を提供します。ASYST INX-2200は隠されたNylon-6/6材料および内部ステンレス鋼フレームによって環境汚染から保護されます、すべての半導体産業の標準を満たすか、または超過します。ASYST INX 2200は、さまざまなウエハサイズに対応しながら、最先端の精度、耐久性、パフォーマンスを提供します。この装置は、スループットを向上させ、コストを削減し、ウェーハの搬送および位置決め時の精度と再現性を向上させるために設計されています。半導体製造から先端材料研究まで幅広い用途に最適です。