中古 ASYST INX 2200 #293748402 を販売中

ASYST INX 2200は、半導体業界において最適な性能を発揮するよう設計されたウェハハンドラです。この高度なハンドラは、現在の半導体プロセスのほとんどに適しており、真空環境で機能することができます。最大200x 2インチまたは4インチのウェーハを搬送できます。高精度な位置決めと「クリック・イン」インストールにより、垂直移動と水平移動の両方を提供します。その優れた熱管理機能は、温度シフト中に最小限に抑えられ、全金属インターロックドアは空中汚染を最小限に抑えます。ASYST INX2200の動作装置は、2つのZ軸、 1つのX-Yガントリー、および傾きと回転ドライブセットで構成されています。Y-Zの組み合わせにより、ウェーハの垂直移動とディップ転送が可能になり、ガントリーはウェーハ上の影を減らすことができます。これにより、ウェーハの損傷や不規則性が低減されます。傾きと回転ドライブセットは、迅速かつ正確なアライメントと配置を可能にします。動的回転により、より正確な位置決めでより滑らかな動きが保証されます。ハンドラーのフレームは高級なステンレス鋼から成り、優秀な構造安定性および最高の剛性率を提供します。単位にダウンタイムの間に単位の容易で、速い取付けか取り外しを保障するために低い全面的なプロフィールがあります。その簡単な操作モードおよびモジュラー設計はユーザーが必要性に従って構成を調節することを可能にします。さらに、INX-2200には、さまざまなアラームとエラー防止機能が装備されています。ロードギャップ測定システムは、ミスアライメントを検出し、遅すぎる前にユーザーに警告することができます。気流などの環境変化を検知するカバーユニットと、耐振動構造の調整可能なハンドルマシンにより、ウェーハの損傷を軽減します。さらに、この強力で信頼性の高いウェハハンドラには、高度なコントローラが装備されています。コントローラを使用すると、LCDディスプレイを介して操作を管理および監視できます。これは、温度、湿度、静電気などのハンドラーの重要な情報をすべて表示します。INX2200は、信頼性の高い精密な処理を必要とする半導体プロセスに最適です。高度なモーションツールと頑丈な構造により、スムーズで効率的な操作を実現し、エラー防止機能によりウェーハの安全性と安全性を確保します。豊富な機能とカスタマイズ可能な構成により、ASYST INX-2200は比類のないパフォーマンスを提供します。