中古 ASYST INX 2200 #293632718 を販売中

ASYST INX 2200は、高度な操作と精度を念頭に設計されたウェハハンドラです。8チューブの低圧ロードロック装置を備えており、最大4つの離散ステーションとウェーハをほぼシームレスに交換できます。ウェーハは、精密位置決め技術を使用して、真空チャンバー内で安全かつ確実に転送されます。これにより、各ウェーハが転送時に完全に整列したままになり、ウェーハの歩留まりが最大化されます。さらに、このシステムには、最も繊細なウェーハでも安全に輸送できるUltra Low Vacuumオプションが付属しています。ウェーハハンドラは、最大300mmのサイズのウェーハに対応し、最も複雑なウェーハトランスファーをサポートするように設計されています。この強力なユニットは、真空ローディングとアンロード、クリーニング、処理、冷却、ベーキング、潤滑など、多くの特殊なプロセスで構成されています。これらのプロセスはすべて、ASYST INX2200のユニークな機能のおかげで迅速かつ正確に行うことができます。Integratorロボットアームは、INX-2200の主要な機能の1つであり、ウェーハの動きの精度を高めることができます。また、ウェハハンドラには複数のビジョンシステムが搭載されており、ロボットの動きを積極的に観察しながら、他の部品との汚染や衝突を避けます。INX 2200には、すべての関連する活動やプロセスを自動操縦するようにプログラムできるコントローラマシンも含まれており、ユーザーに効果的で柔軟な制御アーキテクチャを提供します。このコントローラはプロセスデータにアクセスすることもでき、完全なレシピスクリプトの実行を可能にします。最後に、INX2200は追加のハードウェアやプログラミングを必要とせずに既存のシステムにシームレスに接続できるため、他の機器との統合に最適です。さらに、ガス、温度、真空、その他の環境条件の広い範囲で動作するように設計されており、複数のアプリケーションに最適です。高度な機能により、ASYST INX-2200はウェーハ処理の精度と速度を大幅に向上させるための最適な選択肢であり、繊細なウェーハ転送から複雑さを取り除きます。