中古 ASYST INX 2200 #293594664 を販売中

ASYST INX 2200 Wafer Handlerは、半導体ウェーハの高速、正確、および費用対効果の高い処理を提供するように設計された、完全に自動化されたプログラマブルなロボット制御装置です。このシステムは、さまざまな半導体パッケージや製造方法を利用する業界に最適です。ASYST INX2200には、ロボットアームとウェハハンドリングサブシステムという2つの基本コンポーネントがあります。ロボットアームは、さまざまな動作でウェーハを動かして操作するように簡単にプログラムできます。その結果、ウェーハの積み降ろし、位置決めが非常に正確に行えます。アームは非常に信頼性が高く、強化されたモータ制御、エンコーダ、およびゲージングユニットの結果として反復可能な結果を提供します。ウェハハンドリングサブシステムは、マルチゾーンコンベア機と真空グリッパーアームを利用しています。これにより、複数のウェーハを一度に処理しながら、ウェーハを高精度に転送、整列、配置することができます。コンベアツールは、異なるサイズと形状のウェーハを処理するように特別に設計されています。これは、アセットが指定された位置に正確にウェーハを識別して配置できるため、ダウンタイムを短縮するのに役立ちます。また、高度なビジョンシステムINX-2200搭載しており、ウェーハの自動検査が可能です。異なる検査アルゴリズムと照明により、ビジョンモデルはウェーハ表面のわずかな欠陥を検出することができます。また、特殊なアルゴリズムを使用して、微小欠陥を特定し、ウェーハの寸法を測定するプロセスを自動化します。INX2200はウェーハの安全な処理を保障するために複数の保証特徴と詰まります。これは、ロボットとコンベアが緊急時にすぐに動作を停止することを保証するフェイルセーフ機器を持っています。さらに、システムの故障を検出するためのオフライン診断機能と、機械の偶発的な動作を防ぐための内蔵のインターロックユニットを備えています。全体として、INX 2200ウェハハンドラは半導体業界のウェハハンドリングに最適なツールです。高速かつ高精度で、コスト効率の高い効率的なウェーハ生産を実現します。また、ウェーハの安全な取り扱いを確保するための高度な機能や、包装や組立の前に詳細な検査を行います。