中古 ASYST INX 2200 #293588012 を販売中

ASYST INX 2200は、ウェーハをリソグラフィ、エッチング、成膜ツールなどのさまざまな半導体製造加工ツールに移動、整列、および転送するように設計されたウェーハハンドラです。ASYST INX2200には、4つのステッピングモータによって駆動される2つのリニアトランスポートメカニズムがあります。最大ウェーハ処理速度1。0m/sec、最大搬送速度6m/secで動作可能です。ウェーハのサイズは3インチから8インチまであり、最大重量は2kgです。INX-2200には、ウェーハが輸送ターゲットに到達しないときに作動する自動シャットオフ機構、停電防止システムなど、多数の安全機能が組み込まれています。また、ウェーハを回転・位置決めできるウェーハセンタリング装置を搭載し、正確なウェーハハンドリングを実現しています。また、センタリングガイドを利用したウェーハローディングシステムを搭載し、ウェーハをツールに正確に配置することができます。ASYST INX-2200には多数の制御システムとモーションコントローラが搭載されており、多種多様な半導体加工ツールに組み込むことができます。これにより、ユニットとその機能を正確かつ自動的に制御できます。制御システムはまた、プロセス制御および統計プロセス制御（SPC）に必要なデータを報告できるように、ウェーハ輸送の追跡を容易にします。ウエハハンドリング機能に加えて、INX 2200は、ウエハの分離とアライメント、およびプロセスチャンバーのエアフィルトレーションも実行できます。クリーンルームフィルターを使用して空気を洗浄することで、ウェーハの汚れを防ぎます。この濾過はまた、粒子状汚染のリスクを軽減するのに役立ちます。INX2200は容易な取付け、維持および改善を可能にするモジュラー構造と設計されています。また、複数のチャンバーシステムなどの大規模なシステム統合にも対応しており、最先端の技術により、ウェーハの正確な処理を行うことができます。全体として、ASYST INX 2200は、半導体加工の厳しい要件を満たすように設計された信頼性の高い正確なウェハハンドラです。高度な制御システムと安全機能、モジュラー構造により、高精度のウェハハンドリングアプリケーションに最適です。