中古 ASYST INX 2200 EXT #9103790 を販売中

ASYST INX 2200 EXTウエハハンドラは、基本的な線形およびランダムなタスクの高スループットと効率的な生産のために設計された、自動化された柔軟で信頼性の高いウエハー処理装置です。最大25個のウェーハを同時に処理できるように設計されており、ウェーハの処理時間と精度が向上します。このユニットは、ウェーハローダームを備えたロボットアーム、水平ロードポート、およびグラフィカルユーザインタフェースによって制御されるロボットアームマシンで構成されています。ロボットアームは直感的でユーザーフレンドリーなGUIによって制御され、オペレータは処理パラメータとコマンドのロボットシーケンスを素早く簡単に設定できます。ロボットアームはステッピングモーターで駆動され、毎分24メートル（m/min）の速度に達することができます。ロボットアームには、最大25個のウェーハを搭載可能なロードアームを搭載し、効率的かつ正確なウェーハアライメントと転送を可能にします。ロードアームは簡単に調整できるように設計されており、特殊なウェーハ治具に変更することができます。このツールには、処理されたウェーハのロード、アンロード、転送を可能にする水平ロードポートも含まれています。ロードポートは、さまざまなウェーハカセットやカセットホルダーと互換性があり、一度に最大60個のウェーハを効率的に転送するように設計されています。ロードポートはロボットアームに接続され、ベルトとプーリーアセットによって駆動されます。このモデルには統合されたプロセス制御も含まれており、ユーザーは処理条件と処理されたウェーハの品質を監視することができます。オンボードデータロガーを使用すると、プロセスデータをすばやく表示および分析し、自動化されたプロセスを設定できます。この装置には、非操作状態が検出された場合の自動シャットオフや、接触のない安全センサーなどの安全機能が組み込まれています。INX 2200 EXTウェーハハンドラは、高いスループットと正確なウェーハ処理タスクを実行できる信頼性の高い堅牢なシステムです。ユーザーフレンドリーなGUI、高速な処理速度、最大25個のウェーハを搭載できるため、大量生産環境に最適です。半導体ウェハ製造やフォトリソグラフィなど幅広い用途に適しています。