中古 ASYST Indexer 2200 #293745389 を販売中

ASYST Indexer 2200は、最新の半導体製造の要求を満たすように設計された自動ウェハハンドラです。ウェーハサイズや厚みが豊富で、効率的で信頼性の高い運用が可能です。モジュラー構造と柔軟なレイアウトが特徴で、あらゆる生産環境に合わせて調整できます。システムはメインシャーシとロボットアームで構成されており、ロードポートから最大4つのプロセスチャンバーを介してウェーハを移動できます。ロボットアームは、異なるウェーハサイズと方向に対応するように調整することができ、ウェーハがユニット内で適切に整列および処理されるようにします。また、ロボットアームが処理前に各ウェハを正確に識別できる高度なビジョンツールも搭載しています。これにより、アセットはさまざまなウェーハタイプとサイズを正確に認識できます。さらに、ビジョンモデルは、ウェーハ上の汚染物や構造欠陥を検出することができ、機器が処理を停止し、必要に応じてオペレータに警告することができます。Indexer 2200は既存の製造設備に容易に統合するためのモジュール構造を特色にします。これは、SOIやシリコンオンインシュレーターなど、多くの種類のウェーハを扱うように設計されています。さらに、ウェーハの温度を処理中に制御するための高度な温度制御ユニットを備えています。この機械はまた、最適な温度均一性を達成し、過熱を避けるためにエアフロー管理メカニズムで設計されています。ASYST Indexer 2200は、緊急およびアラームのシャットオフ機能を含むさまざまなセキュリティおよび安全機能を提供します。このツールには、HEPAフィルタを備えたクリーンルーム環境も装備されており、ウェーハ処理中の汚染を排除します。さらに事故のリスクを最小限に抑えるために、アセットには緊急停止スイッチなどのデバイスが装備されています。これらの機能はすべて、ウェーハ処理が安全かつ効率的に実行されることを保証します。全体的に、Indexer 2200は汎用性、安全性、使いやすさを念頭に設計された自動ウェハハンドラです。さまざまなウエハの種類とサイズを処理するための信頼性が高く効率的な方法を提供します。モジュラー構造、ビジョン装置、温度管理機能により、安全で安全なウェーハ処理環境を提供します。ASYST Indexer 2200は、生産ラインの合理化を検討している半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。