中古 ASYST DP2200SI #9153350 を販売中
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ID: 9153350
ウェーハサイズ: 6"-8"
Wafer sorter, 6"-8"
Installation base
BROOKS Wafer sorter:
(8) 2010/10 TSMC6 SCS2000
(4) 2011/03 TSMC8 SCS3000
(4) 2011/05 UMC8A UL-408
(4) 2012/06 UMC8S SCS3000
(3) SCS408
(3) 2013/04 SKY SCS2000
(1) 2014/8 HHGSMC SCS3000
PST Wafer sorter
(2) 2010/01 UMC8A DP2200SI/INX
(6) 2010/10 TSMC6 DP3200SI/INX
(1) 2013/02 VIS2 DP2200SI
(1) 2013/04 SKY DP1200SI/INX
(1) 2014/01 UMC8E DP3200SI/INX
(11) 2014/06 SMIC15 DP2200SI/INX
(5) 2014/08 TSMC10 DP3200SI/INX
Instrument mini-environment:
Clean air
Over-pressurization in robotic handling areas
Wafer Handling / Identification:
(2) Pods / Cassette
Cassette scanning with cross-slot detection
Vacuum probes with wafer edge detection
Automatic wafer on probe centering
Optical, non-contact, Flat/Notch finding with eccentricity correction
Supports COGNEX 1721/1741/WinOCR32/AcuReader3/WinNT system
User Interface:
Small-size PC style keyboard
Optional: SECSII/GEM interface
UI: WINDOWS XP
Wafer and system damage preventions:
Pod / Cassette in place sensing
Cross slot detection
Vacuum sensing electronics
UPS / Vacuum reservoir system
Optional wafer out of cassette sensing
Cleanliness:
Class M1 (0.01 particles at 0.02 micron per pass)
Flat / Notch finder accuracy:
± 2.0 degrees in theta
± 1 mm in centering
Vacuum: 23 ± 3 inches Hg (-0.7 x 105 Pa = 20.7 inches Hg)
Temperature: 23° ± 3°C (73.4 ± 5.4°F)
Power requirements:
100–120 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum
200–250 Volts, 50/60 Hz, 1500 Watts maximum.
ASYST DP2200SI Wafer Handlerは、さまざまな用途における半導体ウェーハの移動を容易にするように設計された超精密輸送装置です。x、 y、 z軸に沿って正確に制御する高度な駆動システムを備えており、ウェーハ輸送時の最高水準の信頼性を実現しています。洗練されたコントローラにより、既存のウエハ加工生産ラインと組み合わせることができ、さまざまな製造設備とシームレスに統合できます。サイズはコンパクトながら直径115mmまでの基板に対応可能です。特に両面ウエハを加工するように設計されているため、半導体ウエハの生産を最大化し、スループットと効率を向上させることができます。安全面では、ウェーハが外部部品と接触しないように保護内部構造で設計されており、ウェーハが汚染されないようにしています。また、取り扱い中にウェーハに損傷が生じないようにします。このツールには幅広い適応ツールがあり、さまざまなアプリケーションに適しています。これらのツールは互換性があり、セットアップと実行中に最大限の柔軟性を実現します。また、監視・検査機器を搭載し、安全性と精度を高めています。DP2200SI Wafer Handlerは、業界をリードする精密技術で設計された効率的な機械です。メンテナンスを最小限に抑え、完全に自動化されたプロセスを提供するため、作業者の介入を最小限に抑えて生産を行うことができます。さらに、このマシンは過度に安全で信頼性が高く、ウェーハの損傷や汚染を防ぎ、このマシンを非常に効果的にします。
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