中古 ASYST Custom #293657970 を販売中

ASYST Customは、さまざまな種類のウエハ基板や材料の加工用に設計された最先端のウエハハンドラです。集積回路を作る上で重要な部品である半導体ウェーハの製造・製造に使用されています。このハンドラは、生産の柔軟性と変化する顧客の要求に迅速に適応する能力を可能にするモジュラー設計を備えています。カスタムには、効率的で安全なウェーハ処理装置を提供するさまざまな機能が装備されています。まず、ハンドラには、処理チェーンに入る前にウェーハの特徴を感知するために使用されるウェーハエッジ検出器が含まれています。また、統合されたRFIDスキャンシステムを備えており、さまざまなウェーハタイプをすばやくソートし、各ウェーハの起源を特定します。これにより、生産に障害が発生した場合の迅速なリコールが可能になります。第二に、ウェーハ加工時に優れた安定性と低振動機能を確保するために、先進的なアクティブバイブアイソレーションシステムを搭載しています。このユニットには、搬送時にウェーハの温度と湿度が大幅に変化しないようにするチャンバーの両側にエアロックシステムも含まれています。ハンドラーのアクティブポジショニングシステムは、高精度のリニアモータ運動技術を使用して製造されています。高速処理でもスムーズで正確なウェーハ処理を実現します。ロボットやアクチュエータなどのハンドラーの重要な部品は、フォースセンシング技術を使用して、ウェーハの高精度なアライメントを保証します。最後に、ASYST Customの自動洗浄機は、ロボット、真空チャック、コンベアなど、ウェーハと接触するすべての表面を完全に洗浄するように設計されています。これは、ほこりや他の粒子がプロセスチャンバーに侵入するのを防ぐのに役立ち、敏感なコンポーネントに損傷を与える可能性があります。結論として、Customは高度な集積回路と半導体を製造するための信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングソリューションを提供します。ウェーハエッジ検出器、内蔵RFIDスキャン、高度なアクティブバイブアイソレーション、自動クリーニングツールなど、安全で扱いやすい機能を多数備えています。