中古 ASYST Axys 21 #9293393 を販売中

ASYST Axys 21は、半導体およびバイオテクノロジー業界向けの高性能ウエハハンドラです。ウェーハの取り扱いと長距離輸送を最適かつ信頼性の高いものにするよう設計されています。この装置は、さまざまなアプリケーションでのウェーハの取り扱いにクリーンで効率的で安全な環境を提供します。Axys 21には、ロードロック、プロセスチャンバー、トランスポートモジュール、シーケンスコントローラなど、さまざまな機能が組み込まれています。ロードロックは、輸送中および保管中の環境汚染からデリケートなウェーハを保護するために使用されます。プロセスチャンバーにより、ウェーハステージ上のウェーハを操作することができます。トランスポートモジュールは、3軸サーボ駆動システムにより、スムーズで正確な転送を可能にするため、ウェーハを長距離で正確に、汚染のない移動を可能にします。最後に、シーケンスコントローラは、便利なコマンド駆動インターフェースを使用して、ウェーハを正確かつ再現可能に処理します。ASYST Axys 21ユニットの主な利点は、精度、再現性、および汚染制御です。3軸サーボ駆動の機械と反復可能な動作により、ウェーハを正確かつ最小限の汚染で処理できます。ロードロック機能により、ウェーハの純度が向上し、作業環境への外部汚染のリスクがなくなります。さらに、トランスポートモジュールは、ウェーハを長距離で正確に転送し、汚染を最小限に抑えます。最後に、Axys 21は非常に安全で信頼性が高いです。フォールトトレラント設計と統合安全システムにより、ウェーハを安全かつ正確に取り扱うことができます。さらに、このツールには、エラーを検出し、潜在的な損傷を最小限に抑えるために、さまざまなセンサーと診断機能が組み込まれています。結論として、ASYST Axys 21は最高レベルのウェーハハンドラであり、効率的で正確で安全なウェーハハンドリングを提供します。ロードロック、プロセスチャンバー、トランスポートモジュール、シーケンスコントローラなどの組み込み機能は、クリーンで汚染のないプロセスに貢献します。さらに、精度、再現性、安全制御により、長距離での繊細なウェハの取り扱いに最適です。