中古 ASYST Axys 21 #9283263 を販売中

ASYST Axys 21は、産業グレードの製造環境における半導体ウェーハキャリアの自動ロードおよびアンロード用に設計されたウェーハハンドラです。Axys 21は、高度なロボットモーションコントロールとエアクッション付き精度を採用しており、eビームおよびイオンインプラント、およびその他のさまざまなウェーハ処理システムを容易にすることができます。これにより、さまざまなサイズ、重量、形状のウェーハキャリアを安全かつ確実に操作できます。ウエハハンドラには、高度なビジョンシステムが搭載されており、極めて精度の高いウエハーを見つけて掴むことができます。頑丈なブラシレス（BLDC）モーターは安定した、滑らかな動きを提供します、埋め込まれた光学線形エンコーダーは位置の正確さを維持するのを助けます。ウェーハの損傷を防ぐために、ウェーハキャリアを動かすシャトルは、エアクッション付きリフティングメカニズムを使用しています。このリフトは最大30kgをサポートし、0°Cから40°Cまでの温度で動作します。ASYST Axys 21には、ブラシシートクリーニングローラーと液流設計を統合した統合ウェハクリーニングソリューションが組み込まれています。Axys 21はさらに直感的なタッチスクリーンコントロールパネルとユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、プロセス状態の操作と監視を容易にします。内蔵の安全機能には、停電警報、空気圧損失、手動操作などがあります。また、ウェーハの閉塞、ウェーハのずれなどの潜在的な誤動作を検出するセンサーも内蔵しています。さらに、ウェハハンドラには、追加のセーフガードとしてE2緊急停止セレクタが含まれています。ASYST Axys 21は、業界標準のほとんどの半導体ファブおよびプロセスモジュールと互換性があります。このシステムは公称サイクルタイム1。2秒を提供し、オプションのローダーを備えた最大1,000のウェーハキャリアを提供します。さらに、プロセスのダウンタイムを最小限に抑え、プロセス全体の効率を向上させ、メンテナンスコストを削減するように設計されています。要するに、Axys 21はウェーハキャリアの積み降ろしを自動化し、幅広い用途に対応するように設計された先進的なウェーハハンドラです。それは信頼でき、安全な操作を保障するために洗練された動きおよび安全特徴の配列を組み込みます。