中古 ASYST Axys 21 #9261749 を販売中

ASYST Axys 21は、半導体およびマイクロエレクトロニクス製造用の自動ウェハハンドラです。半導体業界向けに柔軟なウェハハンドリング、材料輸送、デバイス統合ソリューションを提供する完全自動化プラットフォームです。Axys 21は、ウェハハンドリングに信頼性が高く、再現性が高く、正確な出力を提供するように設計されています。このハンドラは、ある処理モジュールから別の処理モジュールにウェーハを移動するための幅広い種類のデバイスを提供しています。あらゆる機器のウェーハにアクセスできます。自動化された視覚制御スキャナにより、ウェーハハンドラに正確かつ迅速にウェーハを配置できます。それは異なったウェーハのサイズおよびタイプのための共通および特別な適用を扱うことができます。ASYST Axys 21は、ウェーハサイズを自動的に認識し、ウェーハIDをマッピングコンポーネントにマッピングできます。ウェーハの向きのバリエーションを検出して調整することもでき、あらゆるシステムでウェーハを正確かつ反復的に配置することができます。Axys 21は高度なアルゴリズムでプログラミングされており、あらゆる種類のウェーハ材料の変化するパラメータにリアルタイムで対応できます。この機能は、高度なウェハレベルのパッケージング、デバイスアセンブリ、または高度なパッケージングプロセスにとって有益です。また、製造プロセス管理を簡素化し、プロセス管理を強化します。ASYST Axys 21には包括的なウェーハトランスポートユニットがあり、密閉されたプロセスチャンバーを介して、カセットのロードとアンロード、転送ポート、およびピック&プレイスモジュールの間でウェーハを移動できます。このトランスポートマシンは、ローディングとアンロードのツールと統合されており、再アライメントなしで複数のウェーハを一度にロードすることができます。これにより、より効率的で正確な転送資産が得られます。Axys 21は堅牢なモーションコントロールシステムで設計されており、広範囲の利用可能な速度で再現可能で一貫したウェーハ動作を実現します。この機能は、ウェーハの処理を成功させるために重要であり、正確なウェーハ処理中に発生するパターン認識エラーの数を減らすことができます。܀モデルには、利用可能な運動軸の全範囲を正確に追跡および制御するように設計された高度なモーションコントロールシステムもあります。これは、ウェーハ搬送時にウェーハスリップを防止するために特に有益であり、正確な配置と安全なウェーハハンドリングを可能にします。全体として、ASYST Axys 21は、さまざまなタイプとサイズの材料を扱うように設計された強力なウェハハンドラです。ウェハハンドリングに信頼性が高く、再現性が高く、正確な出力を提供します。また、モーションコントロールシステムで設計されており、全範囲のモーションアックスを追跡および制御できます。これは、ウェーハの取り扱いと製造を成功させるために不可欠な、正確かつ正確なウェーハ配置を実現するのに役立ちます。