中古 ASYST Axys 21 #293804866 を販売中

ASYST Axys 21は、ウェーハおよびアセンブリオートメーションソリューションを専門とする国際企業ASYST Technologiesによって設計および製造された高精度の自動ウェーハハンドラです。Axys 21は、検査、取り扱い、テスト、並べ替え、画像、マーク、転送など、さまざまなアプリケーションでベアおよびパッケージ化されたウェーハを処理するために特別に設計された多目的ツールです。ASYST Axys 21は、最大直径200mmのウェーハに対応し、10〜20µmの範囲で精度を持ち、最大21個のウェーハを同時に処理できます。スムーズで精密なウェーハ回転を可能にする2つの独立したウェーハチャックを搭載し、高温基板、SOIウェーハ、GaAsウェーハなど、幅広い基板に対応します。スループットを最大化するように設計された各ウェーハチャックは、独自の二軸モーションコントローラによって駆動され、ウェーハフラット位置で最大0。01°の精度を提供します。さらに、オートステーションはウェーハのアンロードとローディング処理を強化し、カセットへのスムーズで正確な転送を可能にし、ダミーウェーハのロードを容易にします。また、統合されたオプションにより、ウェハ識別やマーク検出のための高精度なソートや画像処理など、さまざまなアプリケーションが可能になります。さらに、タッチスクリーンパネルを使用すると、セットアップとパラメーターの変更が容易になり、リアルタイムのジョブの進行状況監視が可能になります。8M-Byte SDRAMメモリを使用すると、テスト、ソート、および画像処理操作中にウェーハに効果的なバッファリングを提供します。Axys 21は、半導体、フラットパネルディスプレイ、MEMなど、幅広い産業に対応できるように設計されています。優れた精度、小型フットプリント、幅広い基板互換性などの組み込み機能を備え、産業用途に最適なウエハハンドラです。