中古 ASYST ARM 2200 #9189323 を販売中

ASYST ARM 2200は、300mm半導体ウェーハをウェーハファブ内のプロセスからプロセスに移動するように設計されたウェーハハンドラです。一度に最大2枚のウェーハを処理できるため、多層ウェーハプロセスに最適です。このウェーハハンドラには、ウエハの完全性を確保するために超低粒子および汚染制御用に設計された固定内部トランスファーチャンバーが装備されています。このユニットは、垂直平面で動くヘビーデューティな逆Z型アームを使用し、任意のフラットウエハで動作するための調整可能な技術を持っています。E3モーターを搭載し、入力ステーションから出力ステーションにアームを素早く移動させることができます。エンコーダ装置は、高精度かつ再現性に最適化されており、正確な動作を保証します。このウェハハンドラには、作業サイクル時間を延長し、頻繁な洗浄の必要性を減らすためのセラミックチャンバーもあります。また、過熱条件のない均一な温度分布のために、マルチゾーン温度制御が採用されています。ASYST ARM-2200は、プロセス間の遷移時にウェーハを安全に保持および移動するように設計された特別な真空システムを備えています。また、低圧プロセスでウェーハを確実に保持するためにエアクッションを使用します。オートフォーカスアライメント、ウェーハセンタリング、自動温度調整、ストレスフリーのHOLD/RELEASE操作も可能です。これにより、プロセス間で薄いウェーハを転送する際に微細な位置精度を得ることができます。ウエハハンドラは、丈夫で耐久性に優れたステンレス製のシャーシで構成されています。また、コンタクトレスのウェハーマウントアダプタとデュアルモータウェハトランスファーマシンを備えており、パフォーマンスを向上させています。ARM 2200の一体型コントロールユニットは、GUI（グラフィカルユーザーインターフェイス）を搭載しており、操作が容易です。また、ソフトウェアアップデートが付属しており、リアルタイム監視と診断機能が組み込まれているため、信頼性が向上します。