中古 ASYST ARM 2200-V111S #9267066 を販売中

ASYST ARM 2200-V111Sは、半導体ウェーハの搬送と操作のために設計されたウェーハハンドラです。ASYST ARM 2200 V111Sは、真空チャックを内蔵した円形アームと、X、 Y、 Z軸でアームを動かすことができるリニアスライドで構成されています。腕はPLCのコントローラーによって制御され、プログラム可能なキーパッドによってプログラムされ、また偶発的な操作を防ぐために統合された安全連結装置が装備されています。アームは、機構の周りにカスタム設計された空気圧ベローズのシステムとステンレススチールボディに囲まれています。ベローズは、粒子や汚れなどの破片からメカニズムを保護し、ウェーハ輸送に伴う騒音レベルも低減します。アームには非接触ブレーキ機構とブレーキバンドユニットが装備されており、安全なウェーハ輸送を実現しています。ウェーハは、ロードポートからウェーハを拾い上げ、アームのトラックに沿って移動する、統合された真空チャックを使用してアームにロードされます。アームは非常に柔軟性があり、X方向とY方向の両方で正確に動くことができます。さらに、ARM 2200-V111Sにはデータ管理用のソフトウェアが組み込まれています。ソフトウェアは、ウェーハトランスポートプロセスをリアルタイムで監視し、ウェーハレシピを保存してウェーハをロードする際のセットアップ時間を最小限に抑えます。また、自動検出機能を備えており、ウェーハの正しいロードポートサイズを自動的に選択します。ARM 2200 V111Sは、最高効率を念頭に設計された最先端のウェハハンドラです。ウェーハのサイズや素材を幅広く取り扱うことができ、精密かつ信頼性に優れています。さらに、統合された安全機能とデータ管理機能により、ASYST ARM 2200-V111S大量のウェーハ輸送アプリケーションに最適なソリューションです。