中古 ASYST ARM 2200-V111S #293754970 を販売中

ID: 293754970
Load port P/N: 9700-2768-01.
ASYST ARM 2200-V111Sは半導体産業のために設計されている産業等級のウェーハの処理装置です。ASYST Japanが設計・製造する汎用性、モジュール性、信頼性の高い自動ウェハハンドラです。このシステムは、直径200mmの範囲内でさまざまなウエハサイズに対応できます。ピッキングステーション「Pick-on-Vision」、現在のウェーハ位置を示すウェーハマップ、ウェーハとボードの信頼性を向上させるオプションの振動防止ボード、オートポジショナーを内蔵しています。これにより、加工用ウェハの正確な位置決めが可能になります。この機械には、真空チャックとウェーハパスの間でウェーハを転送するために使用される真空伝達ツールが装備されています。デュアルトラックウェハマガジンのアセットが含まれているため、多数のウェハを保存することができます。ASYST ARM 2200 V111Sは、高速サイクリングの再現性アプリケーションに適しており、高い信頼性を提供します。高度な制御モデル、温度制御、自動化された安全機能を搭載し、プロセス制御と信頼性を最適化します。ARM 2200-V111Sには、ウェーハ転送経路、ピッキング性能、真空圧力を監視および制御する一連のセンサーが装備されています。これにより、生産歩留まりとウェハの信頼性が向上します。この機器には、システムのパフォーマンスを向上させるために設計された多数のソフトウェアオプションが装備されています。これらのオプションの中には、精密教育機能、自動プログラムのセットアップ、オペレータ/メンテナンススケジューリング、およびインタラクティブなプログラムの変更があります。ARM 2200 V111Sは、さまざまなアプリケーションに適応できるモジュラーユニットです。これにより、独自のプロセス要件に対するカスタムソリューションが可能になります。この機械は、さまざまなファクトリーオートメーションシステムや多くの自動化プロセスに統合することができます。結論として、ASYST ARM 2200-V111Sは半導体生産アプリケーション向けに設計された先進的なウエハハンドリングツールです。汎用性が高く、モジュール式で信頼性の高い資産で、さまざまなアプリケーションに適した機能を多数備えています。多種多様なウエハサイズに対応し、高度なプロセス制御、歩留まり、ウェハの信頼性を提供します。
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