中古 ASYST ARM 2200-V111S #129936 を販売中

ASYST ARM 2200-V111S Wafer Handlerは、半導体および関連産業のニーズを満たすように設計された強力で費用対効果の高いロボット機器です。システムは、デュアルアーム、単軸ウェハハンドラです。その主な目的は、あるプロセスツールから別のプロセスにウェーハを輸送することです。ASYST ARM 2200 V111Sには2つの独立したロボットアームが装備されています。各ロボットアームには5つの自由度があり、最新の精密モーションコントロールとフォースフィードバック技術を使用して、正確で反復可能な動きを実行します。モーションコントロールユニットは、精密ベアリングと結合されたサーボモータによって駆動され、アルミニウムベースに取り付けられます。各アームはプロセス要件に応じて簡単に追加または削除できるため、機械の拡張は簡単です。ウェハシャトルはオプションで自動搬送が可能です。このシャトルは複数のウェーハを一度に持ち運ぶことができ、より高速なウェーハ処理が可能です。ビジョンセンサと自動ウェハハンドリングプロセスを備えたシャトルは、あるプロセスツールから別のプロセスツールにウェハーを移動するようにプログラムすることができます。ARM 2200-V111Sはクリーンルーム環境で動作するように設計されており、ほとんどの標準的なプロセスツールと互換性があります。また、レーザー干渉計ツール（LIS）を搭載しており、精密アライメントとウェーハ位置決めが可能です。LISには2つの調節可能なチャンネルがあり、それぞれにレーザーと光検出器のペアがあります。この資産には、リモートアクセスと診断を可能にするWebベースのリモートサービスインターフェイスも含まれています。このインターフェイスにより、リモートのトラブルシューティング、プログラミング、およびメンテナンスが可能になります。さらに、このモデルは、外部オートメーションシステムのユーザー選択可能なハンドオフ機能を備えています。ARM 2200 V111Sは信頼性が高く堅牢なため、幅広い操作に最適です。さらに、モジュラー設計により、既存の製造業務に容易に統合できます。これにより、正確で信頼性の高いウェーハ処理を必要とする幅広い業界に理想的な選択肢となります。