中古 ASYST ARM 2150H V111S #180694 を販売中

ASYST ARM 2150H V111Sウェーハハンドラは、精密エッチングされた高精度の精密部品の製造において、直径300mm、重量25kgまでのシリコンウェーハを輸送、検査、位置決めするように設計された半自動ロボット装置です。ARM 2150H V111Sは、半導体ウェーハカセットを1台のロボットハンドラから別のロボットハンドラに移動することができ、1台のオペレータで複数の機能を同時に実行することができます。ウェーハエッジは、最先端の光学系、圧力モニタリング、温度センサーを使用して、ウェーハの処理を改善するために損傷、歪んだウェーハ、歪んだウェーハを検出します。ウエハーは絶縁されたはさみの上昇に滑らかで、安全な環境を提供するために置かれます。ASYST ARM 2150H V111Sには、6度の自由度のロボットアーム、0。5グラムの追跡力、自動再配置システム、65 kgの最大持ち上げ能力を含む、動きとグリッパー技術のフルレンジが装備されています。これらの機能により、非常にタイトなスペースで作業する場合でも、迅速なウェーハ処理と正確な位置決めチュートリアルが可能になります。ウェーハハンドリングロボットユニットは、最新のセンサー技術で構成されており、ウェーハ操作、測定、およびテストの機能を拡張することができます。ARM 2150H V111Sには、Gap Measurement、 Gap Error、 Depth Error、 Focus Errorなどのパラメータを測定およびレポートできる高度な変換、回転、および光学センサーが付属しています。ASYST ARM 2150H V111Sは、オートチューニング機能を備えた高度なドライブマシンを備えており、高速でも正確で一貫したウェーハの取り扱いと位置決めを可能にします。さらに、高度なロボットコントローラは、最良のグリッピングアプローチとポジショニング戦略を決定するための高度なアルゴリズムを実行することができます。これらのすべての機能により、ARM 2150H V111Sは最高のパフォーマンスと信頼性で、正確で効率的な速度でウェーハを処理できます。その汎用性の高い設計は、さまざまな半導体製造に適しており、あらゆる業界に最適なソリューションです。