中古 ASYST ALU 2200 #9411128 を販売中

ASYST ALU 2200は、さまざまな半導体製造プロセスで、生のウェーハや未包装のサイコロを目的地まで輸送できる自動ウェーハ処理装置です。ウェーハ操作のためのさまざまなデバイスやマシンに統合するために設計されており、ウェーハのプロセス領域内およびプロセス領域への効率的かつ正確な転送を可能にします。これにより、ALU 2200は大量の半導体製造環境で人気のある選択肢となります。ASYST ALU 2200は、大容量、安定性、精度、精度を備えたコンパクトで信頼性の高い自動ウェハハンドラです。明確に定義されたロボティクスアーキテクチャを使用して、効率的で信頼性の高いウェハハンドリングを提供します。ウェーハ操作には6軸の動きがあり、6輪の搬送ロボットと可変速度のウェーハハンドリングロボットを備えています。ロボットは、上下、横の3方向に移動できます。ロボットはまた、ウェーハを反転し、回転することができます。ALU 2200は、高性能ビジョンシステムとバーコードユニットを使用して、アルミニウムカセットのウェーハを含むウェーハを検出および読み取りします。ビジョンマシンは、ウェーハ上のラベル、エンブレム、および/またはバーコードを検出および認識することができ、パッケージアイデンティティの確認を提供し、手動検査の必要性を排除することができます。ASYST ALU 2200のビジョンツールは、ローディングステーションからデスティネーションワークスペースまでのウェーハのバッチを追跡および比較するためのデータ処理と分析を提供します。また、ウェーハロットごとに包括的なデータ分析を行い、プロセスの状態とウェーハの正確な位置に関する正確な情報を提供します。ALU 2200はあらゆる半導体製造プロセス向けに設計されており、ウェーハジャムやその他のプロセス異常を検出するための自動センサと機能を備えており、精度と生産性を向上させています。モデルはSEMI E74規格の認証を受けており、SEMIクリーンルーム規格E64に準拠しています。ASYST ALU 2200は、製造、テスト、アセンブリなどのプロセス自動化に適しています。