中古 ASYST ALU 2200 #9172002 を販売中

ASYST ALU 2200ウェーハハンドラは、自動化されたウェーハおよびレチクル処理タスク用に設計された最先端のロボット機器です。ウエハサイズや形状に対応できる先進的なロボットアームを備えています。このハンドラは、ウェーハをステーション間で移動したり、ウェーハを保管・搬送したり、ウェーハ掃除用の真空チャンバーを介してウェーハを処理したり、半導体ウェーハをシールすることができるなど、幅広いカスタマイズ可能な機能を備えています。ALU 2200は信頼できる、制御された動きおよび維持の容易さのための信頼できるステッピングモーターシステムを利用します。ロボットアームは、2つの独立したリニアスライダーと、正確なターゲティングと位置決めのための中央のアーティキュレーションポイントで構成されています。多軸サーボモータにより、ロボットアームの向きを正確に制御し、高い精度と再現性をユーザーに提供します。また、個々の部品の速度を制御し、迅速かつ正確な作動を実現します。ASYST ALU 2200は、高度なイメージング機能を備えており、正確なウェーハ処理タスクを実現します。16メガピクセルのモノクロCCDカメラと高度なイメージングプロセッサを使用して、ウェーハ裏面の高解像度画像を提供します。イメージングプロセッサは、2DウェーハIDも認識して保存します。このマシンは、最大30種類のウェーハIDを格納し、内部クランプツールに最大30個のウェーハを格納することができます。この機能により、スループットが向上し、ダウンタイムが短縮されます。資産効率を最適化するために、ALU 2200は柔軟な集中制御モデルから動作するように設計されています。この装置は、サーボモータと真空負荷を監視し、リアルタイム診断を提供することにより、パフォーマンスを維持および最適化します。また、他の自動システムとの通信もサポートしています。システムにはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ユニットのメニューやコントロールに簡単にアクセスできます。ASYST ALU 2200ウェーハハンドラは、信頼性と効率性が高く、スループットの向上、安全機能の強化、汚染制御の向上を実現するように設計されています。その先進的な部品と制御機械は、自動半導体製造プロセスにおける効率的なウェーハ処理作業に最適です。