中古 ASYST ALU 2200-RT-HS #9152445 を販売中

ASYST ALU 2200-RT-HSは、高精度の部品を縮小するために特別に設計された完全に自動化されたウェハハンドラです。高速モーションアルゴリズムで正確にプログラムされ、直感的なプログラミングインターフェイスが付属しています。温度管理された環境で動作するように設計されており、頑丈で耐久性のあるステンレス製の構造が付属しています。このハンドラーは、欧州のCE規格に準拠し、薄くて敏感なウェハを処理できるように設計されています。それはアイドルサイクルの間に自動省エネモードと、エネルギー効率が良いです。ALU 2200-RT-HSには、プロセス中の振動と回転変位を測定する統合されたショックセンサーがあります。これにより、ハンドリングエラーを低減し、ウェーハ表面の雑音を最小限に抑えることができます。機械の故障を検出し、必要に応じて自動的に停止できるオプションの故障検出機能もあります。ハンドラーには2つのグリッパーが装備されています。1つはウェーハを保持するためのPタイプのグリッパー、もう1つはウェーハを持ち上げてインデックスするためのグリッパーです。どちらのタイプのグリッパーも高剛性で精密加工されており、ナノメートルの精度で薄くて敏感なウェハを正確にインデックスすることができます。Pタイプのグリッパーは、ウェーハの厚さに応じて調整可能な顎を備えています。このハンドラは、ウェーハ表面との均一な接触を確保するために、ダウンフォースを正確に制御することができます。ダウンフォースは0。5〜5。5Nの範囲で調整可能で、最適なウェーハ位置決めシステムも備えています。これにより、グリッパーはエッジの代わりにウェーハの中心に接触します。ASYST ALU 2200-RT-HSには、グラフィカルディスプレイを備えたユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスがあります。使いやすいメニュー駆動機能により、ユーザーはハンドラをコントロールしたり調整したりすることができます。また、EthernetまたはRS-232を介してリモートでプログラムすることもできます。ALU 2200-RT-HSは、大きなダイナミックレンジで高精度の部品を縮小するために設計されており、薄くて敏感なウェーハを扱うのに最適です。高速モーションアルゴリズム、オプションのフォルト検出機能、精密加工グリッパー、最適なウェーハ位置決めシステム、調整可能なダウンフォース、使いやすいソフトウェアインターフェイス、リモートプログラミング機能を備えたASYST ALU 2200-RT-HSは、高精度で精密部品を縮小するための信頼性と効率的なソリューションです。