中古 ASYST ALU 2150 #9411127 を販売中

ASYST ALU 2150は、自動化された製造環境で、最大150mm径のウェーハを処理するように設計されたウェーハハンドラです。装置は、ウェーハの取り扱いと位置決めに使用される関節アームで構成されています。これは、さまざまな動作環境での精密な動きと精度のために設計されています。このシステムは、アームを保持する電動ベースと作業室のZ軸に沿ってアームを動かすためのリニアスライドで構成されており、ウェハを正確に配置することができます。リニアスライドには校正ユニットが内蔵されており、ずれを補正して正確な配置を保証します。アームには、150mmウェーハで使用できるように設計されたC字型ウェーハホルダーが取り付けられています。C字型ホルダーは優れたグリップと制御を提供し、自動動作時にウェーハを確実に保持します。ホルダーはアームから素早く取り付けることができるように設計されており、ウェーハサイズやタイプを簡単に変更できます。ALU 2150には、アームの端にあるビジョンマシンも含まれています。これにより、自動化されたツールがウェーハを認識して正しく場所に移動できます。このツールは、複数のx、 y、 z座標でプログラムされ、ウェーハを目的の場所に正確に配置することができます。ビジョンアセットは、ウェーハの欠陥や損傷を検出するためにも使用され、取り扱い中のさらなる損傷を防ぎます。ASYST ALU 2150には、モデルに組み込まれた安全対策も含まれています。たとえば、アームには緊急停止が装備されており、緊急事態が発生した場合には、機器を数秒で停止させることができます。さらに、リミットスイッチが設置されているため、アームが所定の距離を超えて移動することはできません。ALU 2150は、製造およびメンテナンスの両方の目的で正確さ、安全性、耐久性を保証する業界をリードするウェハハンドラです。精密なモーションコントロール、C字型ウェーハホルダー、統合ビジョンユニットにより、ウェーハの正確な取り扱いと配置を保証します。非常停止および限界スイッチは機械および人員の両方の安全を保障します。