中古 ASYST ALU 2150 #9208208 を販売中

ASYST ALU 2150は、半導体産業の生産ニーズに対応するために特別に設計された自動化された高速ウェーハ処理装置です。150mm半導体ウェーハの高速双方向ハンドオフにより、1時間あたり最大350個のウェーハに対応できます。ALU 2150は、機械に電力を供給する電動アクチュエータ以外の可動部品がないため、特に自動製造プロセス向けに設計されています。ASYST ALU 2150は、シングルおよびダブルキャリーまたは複数のローンチの両方の範囲を可能にする単一および複数のローンチチャンバー構成を装備することができます。ALU 2150は保護ウエハハンドラを備えているため、ウエハーとキャリアのエッジの間に物理的な接触はありません。内蔵のウェーハセンタリングシステムにより、Z軸モータによる正確なウェーハ配置が保証されます。さらに、オプティカル・ポジショニング・ユニット（OPS）は、さらに精度が高く、ウェーハがキャリア内に正確かつ中央に配置されていることを確認するためのデュアルカメラ動作を提供します。ウエハハンドラは拡張し、ミッションの前後にウエハをグリップするためにリトラクトします。安全な操作のために、ASYST ALU 2150は、ローンチハンドオフ時にウェーハをキャリアの片端から他の端に誘導する静的充電緩和機を採用しており、静的充電が蓄積されないようにしています。ALU 2150は、高度なフェイルセーフツールも使用しています。これにより、障害が検出されると自動的に新しいウェーハキャリアに切り替わり、影響を受けるモジュールの保守中にプロセスを継続できるようになります。ASYST ALU 2150は、高度なデザインと幅広い機能を備えた非常に信頼性が高く、効率的です。カスタマイズ可能なセットアップと高速機能により、本番環境に最適です。さらに、ローカルコントロールとリモートアクセスのオプションを備えた直感的なユーザーインターフェイスを備えています。これにより、ユーザーフレンドリーな操作が維持されます。ALU 2150は、150mmの半導体ウェーハの取り外しと取り扱いに最適です。